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龙图腾网获悉深圳市鑫德普科技有限公司申请的专利一种蓝宝石衬底的表面杂质抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121237646B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511784418.0，技术领域涉及：H10P52/00；该发明授权一种蓝宝石衬底的表面杂质抛光方法是由阚开乐;张茂亮设计研发完成，并于2025-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种蓝宝石衬底的表面杂质抛光方法在说明书摘要公布了：本发明涉及化工学衬底加工技术领域，且公开了一种蓝宝石衬底的表面杂质抛光方法，该方法依次包括预处理、配制抛光液、一级抛光、二级抛光及后处理步骤。其中，预处理采用特定参数的紫外臭氧清洗进行表面活化；抛光液由酸性络合剂、氧化性刻蚀剂、表面活性剂及特定粒径与配比的纳米级复合磨料组成；抛光过程分为两级，一级抛光在特定压力、转速下采用聚氨酯抛光垫进行初步处理，二级抛光更换为多孔复合纤维抛光垫并采用周期性变转速工艺进行精抛光；后处理包括多级超声清洗和干燥。本发明提升了蓝宝石衬底表面质量的均一度，提升了抛光工艺对于不同批次、不同初始条件衬底的适应性和处理效果的稳健性。

本发明授权一种蓝宝石衬底的表面杂质抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种蓝宝石衬底的表面杂质抛光方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一：预处理，将蓝宝石衬底置于紫外臭氧清洗机中进行表面活化处理，处理时间为10‑30分钟，紫外波长为185nm和254nm双波段照射； 步骤二：配制抛光液，所述抛光液由以下体积百分比的原料组成：酸性络合剂30%‑40%、氧化性刻蚀剂5%‑10%、表面活性剂0.5%‑1.5%、纳米级磨料15%‑25%和去离子水余量； 步骤三：一级抛光，将预处理后的蓝宝石衬底固定于抛光盘上，采用聚氨酯抛光垫，在压力0.5‑1.5kPa、转速30‑60rmin条件下，注入步骤二配制的抛光液进行初步抛光处理； 步骤四：二级抛光，更换为多孔复合纤维抛光垫，在压力0.2‑0.8kPa、转速10‑30rmin条件下，采用周期性变转速工艺进行精抛光； 步骤五：后处理，将抛光后的蓝宝石衬底依次在超声清洗机中进行三级清洗，最后采用高压氮气吹干并真空包装； 所述步骤二中，酸性络合剂为氢氟酸、硝酸和柠檬酸按体积比3:1:2组成的混合酸体系，氧化性刻蚀剂为过氧化氢和次氯酸钠按质量比2:1复配的复合氧化剂。

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