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龙图腾网获悉上海普达特半导体设备有限公司申请的专利晶圆卡盘及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121237727B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511784627.5，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权晶圆卡盘及半导体设备是由王蔚成;韩晗设计研发完成，并于2025-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆卡盘及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明的晶圆卡盘及半导体设备，包括旋转驱动组件、法兰、升降止动组件、卡盘组件、监测组件、卡头组件及导电环，该结构在满足对晶圆的夹持、释放及旋转操作的同时，还可通过对应设置的摆杆与霍尔传感器实时监测晶圆的状态，且通过将卡头、卡盘、卡盘底板、旋转法兰、转轴、上导电环及下导电环均设置为导体且电连接并接地，从而可为晶圆提供静电释放路径。本发明的晶圆卡盘及半导体设备，无需引入复杂设备即可对晶圆的状态进行监测，且可有效去除晶圆静电，从而可降低生产成本，且可对晶圆进行实时监测及静电去除，从而可提高生产效率及生产良率。

本发明授权晶圆卡盘及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆卡盘，其特征在于，所述晶圆卡盘包括： 旋转驱动组件，所述旋转驱动组件包括旋转驱动件及转轴，通过所述旋转驱动件驱动所述转轴旋转运行； 法兰，所述法兰包括上固定法兰、下固定法兰及旋转法兰，所述上固定法兰固定于所述旋转驱动组件的上端，所述下固定法兰固定于所述旋转驱动组件的下端，所述旋转法兰设置于所述上固定法兰的上方且固定于所述转轴上，通过所述转轴驱动所述旋转法兰旋转运行； 升降止动组件，所述升降止动组件固定于所述上固定法兰上，所述升降止动组件包括止动杆及升降驱动件，通过所述升降驱动件驱动所述止动杆升降运行； 卡盘组件，所述卡盘组件包括卡盘底板、卡盘、伸缩牵引件及卡盘顶板，所述卡盘底板固定于所述旋转法兰上，通过所述旋转法兰驱动所述卡盘底板旋转运行，所述卡盘顶板固定于所述卡盘底板上，所述卡盘位于所述卡盘底板与所述卡盘顶板之间，且所述卡盘与所述卡盘底板活动连接，所述伸缩牵引件的一端与所述卡盘底板连接，所述伸缩牵引件的另一端与所述卡盘连接，且所述卡盘底板上设置有与所述止动杆对应设置的卡盘底板容置槽，所述卡盘上设置有与所述止动杆对应设置的卡盘限位槽，且基于所述卡盘底板容置槽及所述卡盘限位槽的设置，通过所述止动杆的升降运行对所述卡盘进行限位； 卡头组件，所述卡头组件包括卡头及摆杆，所述卡头设置于所述卡盘顶板上，且所述卡头与所述卡盘对应设置，通过所述卡盘驱动所述卡头旋转运行以承载及夹持晶圆，所述摆杆固定于所述卡头上且与所述卡头同步旋转运行； 监测组件，所述监测组件固定于所述上固定法兰上，所述监测组件包括霍尔传感器，且所述霍尔传感器与所述摆杆对应设置，通过所述霍尔传感器获取所述摆杆的位置以监测位于所述卡头上的所述晶圆的夹持状态； 导电环，所述导电环包括上导电环及下导电环，所述上导电环固定于所述转轴上，通过所述转轴驱动所述上导电环旋转运行，所述下导电环固定于所述下固定法兰上，且所述上导电环与所述下导电环接触设置； 其中，所述卡头、所述卡盘、所述卡盘底板、所述旋转法兰、所述转轴、所述上导电环及所述下导电环均为导体且电连接并接地设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海普达特半导体设备有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1387号33幢101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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