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龙图腾网获悉青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆烘干腔体的压力调节方法、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121297433B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511861486.2，技术领域涉及：F26B21/35；该发明授权一种晶圆烘干腔体的压力调节方法、设备及介质是由原桂龙;杨振;吴疆;于宏伟设计研发完成，并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆烘干腔体的压力调节方法、设备及介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆烘干腔体的压力调节方法、设备及介质，涉及半导体制造技术领域，方法包括：实时采集晶圆烘干腔体的工艺数据；基于工艺数据，通过预构建的腔体压力模型，计算晶圆烘干腔体的内部压力值以及对应的置信区间；根据内部压力值和预设压力标准值之间的压力差值，通过反馈控制引擎，生成反馈调节指令集；并行采集晶圆烘干腔体的多种预设工艺事件信号，判断是否触发扰动事件；当触发扰动事件时，通过前馈控制引擎，基于扰动类型，生成主动调节指令集；生成最终调节驱动指令并执行。通过构建腔体压力模型并结合前馈反馈双引擎控制机制，能够基于压力偏差进行精准调节，还能对可预见扰动进行超前补偿。

本发明授权一种晶圆烘干腔体的压力调节方法、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆烘干腔体的压力调节方法，应用于具备进气系统和排气系统的晶圆烘干腔体，其特征在于，包括： 实时采集所述晶圆烘干腔体的工艺数据；所述工艺数据包括进气管道内的进气气体流量数据和进气管道压力数据，排气管道内的排出气体流量数据和排气管道压力数据，以及进气流量控制器的当前执行参数和排气压力控制阀的当前开度参数； 基于所述工艺数据，通过预构建的腔体压力模型，计算所述晶圆烘干腔体的内部压力值以及对应的置信区间，具体包括： 对所述工艺数据进行预处理，提取预处理后工艺数据的腔体压力特征，得到腔体压力特征集； 将所述腔体压力特征集输入预训练的腔体压力模型中，依次将所述腔体压力特征与预设校准数据集中的真实样本特征进行匹配计算，计算对应的特征相似度，得到特征相似度集； 根据所述特征相似度集，对所述真实样本特征对应的真实腔体压力值进行加权融合，以得到内部压力值以及对应的置信区间； 根据所述内部压力值和预设压力标准值之间的压力差值，通过反馈控制引擎，生成反馈调节指令集，具体包括： 将所述置信区间对应的宽度值与预设宽度阈值进行实时比较； 当所述宽度值超出所述预设宽度阈值时，基于预设衰减因子，调整所述反馈控制引擎的增益系数；所述增益系数包括比例增益系数、积分增益系数和微分增益系数； 计算所述晶圆烘干腔体的预设压力标准值和所述内部压力值的压力差值，根据调整后的增益系数，分别计算对应的压力差值的调节分量；所述调节分量包括比例调节分量、积分调节分量和微分调节分量； 基于所述调节分量，计算基础反馈控制值，生成反馈调节指令集；所述反馈调节指令集包括所述进气流量控制器的反馈参数调节指令和所述排气压力控制阀的反馈开度调节指令； 同时，并行采集所述晶圆烘干腔体的多种预设工艺事件信号，判断是否触发扰动事件； 所述工艺事件信号包括晶圆传输指令信号、加热基座功率设定信号和工艺气体流量设定信号； 当触发所述扰动事件时，通过前馈控制引擎，基于触发的扰动类型，生成主动调节指令集，具体包括： 确定触发扰动的工艺事件信号的类型标识符； 基于所述类型标识符在前馈策略库中进行查询，确定当前扰动事件对应的理想补偿控制曲线； 将所述当前扰动事件的触发时刻设置为时间起点，基于预设控制周期，依次读取所述理想补偿控制曲线中周期起始时刻的推荐控制参数值；所述推荐控制参数值包括所述进气流量控制器的推荐执行参数值和所述排气压力控制阀的推荐开度参数值； 基于所述推荐执行参数值，生成所述进气流量控制器的前馈参数调节指令，并基于所述推荐开度参数值，生成所述排气压力控制阀的前馈开度调节指令； 基于所述反馈调节指令集和所述主动调节指令集，生成最终调节驱动指令并执行，对所述进气流量控制器的执行参数和所述排气压力控制阀的开度参数进行调节，以维持所述晶圆烘干腔体的压力稳定。

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