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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利基于扫频光源的界面定位与膜厚测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121297670B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511872119.2，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权基于扫频光源的界面定位与膜厚测量装置是由周勇;时培康;徐睿;胡远磊;杨金烨;王屹林;高伟清设计研发完成，并于2025-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于扫频光源的界面定位与膜厚测量装置在说明书摘要公布了：本发明涉及调频连续波激光测距领域，公开了基于扫频光源的界面定位与膜厚测量装置，该装置包括扫频激光源S‑source、第一光耦合器OC1、光纤环形器CIR、激光准直器FC、半透半反镜PM、第二光耦合器OC2、平衡光电探测器BPD和频谱分析仪SA，各部件通过光纤连接，利用上述装置，基于扫频干涉原理，经激光分束、双路激光传输、干涉整合及信号解析四个阶段即可实现界面定位与膜厚测量。本发明的界面定位与膜厚测量装置满足相关领域高精度、高分辨率的需求，在工业制造、光纤通信等应用领域有显著优势。

本发明授权基于扫频光源的界面定位与膜厚测量装置在权利要求书中公布了：1.一种基于扫频光源的界面定位与膜厚测量方法，其特征在于，设置基于扫频光源的界面定位与膜厚测量装置，所述装置包括扫频激光源S‑source、第一光耦合器OC1、光纤环形器CIR、激光准直器FC、半透半反镜PM、第二光耦合器OC2、平衡光电探测器BPD和频谱分析仪SA，各部件通过光纤连接；其中，由第一光耦合器OC1、光纤环形器CIR、激光准直器FC、半透半反镜PM、第二光耦合器OC2、平衡光电探测器BPD构成干涉光路； 利用所述的装置，基于扫频干涉原理，经激光分束、双路激光传输、干涉整合及信号解析四个阶段实现界面定位与膜厚测量：扫频激光经分束后，一路为参考臂的基准光，另一路经样品臂处理后形成零点标定光及携带待测样品信息的待测样品前表面反射光和待测样品后表面反射光，各光与参考臂的基准光叠加干涉，经信号处理与频域特征提取，计算获得膜厚及界面位置信息，完整运行过程具体如下： 1激光分束阶段扫频激光源S‑source输出的连续线性扫频激光，首先输入第一光耦合器OC1，由第一光耦合器OC1按照50:50的功率比例将扫频激光分成两束，一束进入样品臂用于对待测样品进行探测，另一束进入参考臂作为干涉基准信号； 2双路激光传输阶段参考臂传输：参考臂的扫频激光直接传输至第二光耦合器OC2，其光程为，作为后续干涉的基准光； 样品臂传输：样品臂的扫频激光先经光纤环形器CIR定向传输，再进入激光准直器FC进行方向校准，将发散激光转换为平行光；随后平行光入射至半透半反镜PM，被再次分束为反射光和透射光，两束光的光程具体如下： 半透半反镜PM的反射光直接沿原光路返回第二光耦合器OC2，其总光程为，该光用于标定系统测量零点，记为零点标定光； 半透半反镜PM的透射光照射至待测样品表面，经待测样品前表面、后表面反射后，沿原光路返回第二光耦合器OC2，形成待测样品前表面反射光和待测样品后表面反射光；待测样品前表面反射光的总光程为；待测样品后表面反射光的总光程为；两束待测样品信息光均携带待测样品位置与膜厚信息； 3干涉整合阶段参考臂的基准光与样品臂返回的零点标定光、待测样品前表面反射光、待测样品后表面反射光在第二光耦合器OC2处分别完成光场叠加，形成三束独立的干涉信号，输入平衡光电探测器BPD，由平衡光电探测器BPD通过差分处理消除光源固有噪声、增强信号信噪比，最终输出包含三束干涉信息的稳定拍频电信号； 4信号解析阶段频谱分析仪SA接收平衡光电探测器BPD输出的拍频电信号，通过离散傅里叶变换提取频域特征，计算获得膜厚信息； 令扫频激光源S‑source的相干长度为，为保证样品臂返回的零点标定光、待测样品前表面反射光、待测样品后表面反射光均能与参考臂的基准光形成有效干涉，需满足如下干涉条件约束： 零点标定光与参考臂的基准光的光程差=‑； 待测样品前表面反射光与参考臂的基准光的光程差=‑； 待测样品后表面反射光与参考臂的基准光的光程差=‑。

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