买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利一种集成抓取与翻转功能的晶圆处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121310964B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511862428.1，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种集成抓取与翻转功能的晶圆处理装置是由陈刚;方文强;张骞;罗来良;方猛;徐承权设计研发完成，并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种集成抓取与翻转功能的晶圆处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆处理设备技术领域，尤其涉及一种集成抓取与翻转功能的晶圆处理装置，其中，固定基座背离机械臂末端的一侧连接有支撑框架；晶圆抓取构件包括夹持臂和夹持头，两个夹持臂之间形成夹持晶圆的夹持空间，夹持头设于夹持臂朝向夹持空间的一侧；旋转驱动机构包括永磁转子、电磁定子和磁悬浮控制器，永磁转子与翻转承载件固定连接，电磁定子设于支撑框架内，磁悬浮控制器设于固定基座内，磁悬浮控制器配置为控制永磁转子与电磁定子之间产生径向气隙，以使永磁转子带着翻转承载件相对电磁定子旋转。本发明通过将晶圆抓取构件与基于磁悬浮控制器的旋转驱动机构集成于一体，实现了晶圆抓取与翻转功能的同步完成。

本发明授权一种集成抓取与翻转功能的晶圆处理装置在权利要求书中公布了：1.一种集成抓取与翻转功能的晶圆处理装置，其特征在于，包括： 固定基座，与机械臂末端连接，且背离所述机械臂末端的一侧连接有支撑框架； 翻转承载件，设于所述固定基座背向所述机械臂末端的一侧； 晶圆抓取构件，包括夹持臂和夹持头，所述夹持臂设有两个且设于所述翻转承载件上，两个所述夹持臂之间形成夹持晶圆的夹持空间，所述夹持头设于所述夹持臂朝向所述夹持空间的一侧，两个所述夹持臂沿所述翻转承载件的径向做靠近或远离运动以使所述夹持头夹持或松脱所述晶圆； 旋转驱动机构，设于所述固定基座和所述翻转承载件之间，所述旋转驱动机构包括永磁转子、电磁定子和磁悬浮控制器，所述永磁转子转动设于所述支撑框架远离所述固定基座的一侧，且所述永磁转子位于所述支撑框架外的一端与所述翻转承载件固定连接，所述电磁定子设于所述支撑框架内，并同轴罩设在位于所述支撑框架内的所述永磁转子外，所述磁悬浮控制器设于所述固定基座内并与所述电磁定子连接，所述磁悬浮控制器配置为控制所述永磁转子与所述电磁定子之间产生径向气隙，以使所述永磁转子带着所述翻转承载件相对所述电磁定子旋转。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海邦芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：201400 上海市奉贤区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区平霄路358号7号厂房、9号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。