深圳市轴心自控技术有限公司张翔获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市轴心自控技术有限公司申请的专利一种动态的低氧结构及具有其的等离子清洗机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223928765U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423112035.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种动态的低氧结构及具有其的等离子清洗机是由张翔;李高勇;高友浪;王永龙设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种动态的低氧结构及具有其的等离子清洗机在说明书摘要公布了：本实用新型第一方面公开了一种动态的低氧结构，包括：盖板，其中部贯穿设置有清洗通道；清洗模块设置于盖板的第一侧；加热台设置于盖板的第二侧，加热台靠近盖板的一侧设置有清洗区，清洗区和盖板的第二侧形成清洗腔室；钢带设置于清洗模块上；第一气体通道设置于加热台一侧；第二方面公开了一种等离子清洗机，包括上述动态的低氧结构；本实用新型通过在加热台顶部设置清洗区，使清洗区和盖板之间形成清洗腔室，通过清洗模块带动钢带运动，实现对清洗通道的动态密封，通过第一气体通道和第二气体通道充入保护气体，降低了清洗腔室内的含氧量，保证晶圆清洗效果，减少了保护气体的消耗量，降低了生产成本，并实现在线式无人自动化生产。
本实用新型一种动态的低氧结构及具有其的等离子清洗机在权利要求书中公布了：1.一种动态的低氧结构，其特征在于，包括：盖板，其中部贯穿设置有清洗通道； 清洗模块，设置于所述盖板的第一侧，其工作端与所述清洗通道滑动连接； 加热台，设置于所述盖板的第二侧，所述加热台靠近所述盖板的一侧设置有清洗区，当所述加热台靠近所述盖板时，所述清洗区和所述盖板的第二侧形成清洗腔室； 钢带，设置于所述清洗模块上，并位于所述盖板的第二侧，用于在所述清洗模块运动时封闭所述清洗模块周围的所述清洗通道； 第一气体通道，设置于所述加热台一侧，并与所述清洗腔室连通。
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