弘塑科技股份有限公司林君澔获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利高温液体供应系统和半导体制造装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223928773U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520425770.4，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型高温液体供应系统和半导体制造装置是由林君澔;吴宗恩设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本高温液体供应系统和半导体制造装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种高温液体供应系统和半导体制造装置。高温液体供应系统包括槽体、外循环管路、喷嘴和第一阀。槽体用于存储具有预定温度范围的液体。外循环管路连接槽体以输送液体。第一阀设置在外循环管路上，用于调节液体至小流量，并且将小流量的液体输送至喷嘴，以及其余的液体通过回流至槽体。
本实用新型高温液体供应系统和半导体制造装置在权利要求书中公布了：1.一种高温液体供应系统，其特征在于，包括： 槽体，用于存储并维持具有预定温度范围的液体； 外循环管路，连接所述槽体并形成外循环回路，以输送所述液体，其中所述外循环管路包含： 主路径，所述主路径的一端连接至所述槽体的出液口； 第一分流路径，所述第一分流路径的一端连接至所述槽体的进液口；以及第二分流路径，所述第二分流路径的一端与所述主路径的另一端和所述第一分流路径的另一端共同连接至节点； 喷嘴，连接至所述第二分流路径的另一端，用于将具有所述预定温度范围的所述液体喷洒至晶圆表面；以及第一阀，设置在所述第二分流路径上，用于调节所述液体至小流量，并且将小流量的所述液体输送至所述喷嘴，以及其中其余的所述液体通过所述第一分流路径回流至所述槽体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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