海目星激光科技集团股份有限公司姚智钦获国家专利权
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龙图腾网获悉海目星激光科技集团股份有限公司申请的专利一种上下料装置及其晶圆加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223928782U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423017347.5,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种上下料装置及其晶圆加工设备是由姚智钦;黄煜;彭信翰;常伦飞;李兵设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种上下料装置及其晶圆加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种上下料装置及其晶圆加工设备,所述上下料装置包括:工作台,安装于所述工作台的存料机构、上料机构及下料机构,所述存料机构环设于所述上料机构和所述下料机构周围,所述存料机构设有多个存储隔间。通过上述方式,在上料机构将晶圆取出存储隔间和下料机构将晶圆装载存储隔间时,不会使相邻存储隔间发生晃动,避免相邻存储隔间内的晶圆损坏的现象发生。
本实用新型一种上下料装置及其晶圆加工设备在权利要求书中公布了:1.一种上下料装置,其特征在于,包括:工作台,安装于所述工作台的存料机构、上料机构及下料机构,所述存料机构环设于所述上料机构和所述下料机构周围,所述存料机构设有多个存储隔间,所述存储隔间用于存储晶圆;所述上下料装置还包括寻边机构,所述寻边机构安装于所述工作台且位于所述存料机构的一侧,所述寻边机构用于定位晶圆的圆心。
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