浙江芯动科技有限公司孙延涛获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯动科技有限公司申请的专利一种用于半导体生产中异形样品的真空吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223928804U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520133577.3，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种用于半导体生产中异形样品的真空吸附装置是由孙延涛;林海亚;刘立岳;刘聪设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体生产中异形样品的真空吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体生产中异形样品的真空吸附装置，包括真空吸盘以及与真空管路连通的气管，真空吸盘包括与气管连通的中心通孔以及与中心通孔连通的环形凹槽单元，真空吸盘上设有专用载具，专用载具包括用于放置晶圆样品的放置槽，专用载具上放置槽的形状根据晶圆样品的形状设置，专用载具根据放置槽的形状分为多种，多种专用载具拆卸连接在真空吸盘上，放置槽与中心通孔连通，且放置槽与环形凹槽单元配合。本实用新型的有益效果是通过与真空吸盘配合使用的专用载具，实现既能防止异形晶圆样品因无法覆盖真空吸盘而导致真空泄露的问题，又能将真空气压转移到晶圆样品上达到吸附晶圆样品的目的，顺利完成相应半导体的加工步骤。
本实用新型一种用于半导体生产中异形样品的真空吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体生产中异形样品的真空吸附装置，包括真空吸盘1以及与真空管路连通的气管2，其特征在于，所述真空吸盘1包括与气管2连通的中心通孔3以及与中心通孔3连通的环形凹槽单元100，真空吸盘1上设有用于吸附晶圆样品的专用载具4，专用载具4包括用于放置晶圆样品的放置槽5，专用载具4上放置槽5的形状根据晶圆样品的形状设置，专用载具4根据放置槽5的形状分为多种，多种专用载具4拆卸连接在真空吸盘1上，放置槽5与中心通孔3连通，且放置槽5与环形凹槽单元100配合。
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