英飞凌科技股份有限公司J·G·拉文获国家专利权
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龙图腾网获悉英飞凌科技股份有限公司申请的专利具有IGBT区段和二极管区段的RC-IGBT获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112531023B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010981151.5,技术领域涉及:H10D12/00;该发明授权具有IGBT区段和二极管区段的RC-IGBT是由J·G·拉文;R·巴布斯克;F·D·普菲尔施;A·菲利波;C·P·桑多设计研发完成,并于2020-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有IGBT区段和二极管区段的RC-IGBT在说明书摘要公布了:公开了具有IGBT区段和二极管区段的RCIGBT。提供了一种RCIGBT1,其在二极管区段1‑22和IGBT区段1‑21之间的过渡区段1‑23中具有n阻挡区107。
本发明授权具有IGBT区段和二极管区段的RC-IGBT在权利要求书中公布了:1.一种RCIGBT1,包括: 有源区1-2,其具有IGBT区段1-21、二极管区段1-22以及在IGBT区段1-21和二极管区段1-22之间的过渡区段1-23,其中IGBT区段1-21和二极管区段1-22从相对的横向方向邻接过渡区段1-23; 围绕有源区1-2的边缘终止区1-3; 半导体本体10,其具有前侧110和背侧120,半导体本体10的厚度d被限定为沿着前侧110和背侧120之间的竖向方向Z的距离,其中过渡区段1-23的总的横向延伸TLE达到半导体本体厚度d的至少30%; 多个沟槽14、15、16,其被布置在IGBT区段1-21、二极管区段1-22和过渡区段1-23中的每个中,每个沟槽14、15、16沿着竖向方向Z从前侧110延伸到半导体本体10中并且包括被通过沟槽绝缘体142、152、162与半导体本体隔离的沟槽电极141、151、161,其中两个相邻的沟槽限定半导体本体10中的相应的台面部分17; 在半导体本体前侧110处的第一负载端子11和在半导体本体背侧120处的第二负载端子12,其中, IGBT区段1-21被配置用于在第一负载端子11与第二负载端子12之间传导正向负载电流;并且 二极管区段1-22被配置用于在第一负载端子11与第二负载端子12之间传导反向负载电流; 控制端子13,用于控制正向负载电流,其中,在IGBT区段1-21中,被电连接到控制端子13的沟槽电极141的平均密度是在过渡区段1-23中被连接到控制端子13的沟槽电极141的平均密度的至少两倍那么大, 第一导电类型的漂移区100,其被形成在半导体本体10中并且延伸到IGBT区段1-21、二极管区段1-22和过渡区段1-23中的每个中; 第二导电类型的本体区102,其被形成在半导体本体10的台面部分中并且延伸到IGBT区段1-21、二极管区段1-22和过渡区段1-23中的每个中,其中本体区102的至少部分被电连接到第一负载端子11,并且其中至少在过渡区段1-23中本体区102对于第一导电类型的台面部分17的子区段形成pn结,其中: 至少在过渡区段1-23中,具有与漂移区100的平均掺杂剂浓度相比至少为100倍大的峰值掺杂剂浓度的第一导电类型的阻挡区107至少被布置在台面子部分的与本体区102相接的部分中,以及 过渡区段1-23中的台面子部分的平均掺杂剂剂量与二极管区段1-22中的台面子部分的平均掺杂剂剂量相比至少为1.2倍高。
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