ASML荷兰有限公司B·戈克斯获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于光放大腔的测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114041087B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080048534.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于光放大腔的测量系统是由B·戈克斯;V·P·甘古利;S·S·R·奥马罗辛哈;A·M·斯卓克肯;S·埃哈德;T·斯泰因布鲁克;J·米勒设计研发完成，并于2020-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于光放大腔的测量系统在说明书摘要公布了：一种用于光放大腔的测量系统，包括：输入光学元件；成像系统；以及检测器。所述输入光学元件用于接收输入辐射束并且所述输入光学元件：沿第一光路引导所述输入辐射束的第一部分；以及沿第二光路引导所述输入辐射束的第二部分例如进入光放大腔中。成像系统被布置在所述第一光路上并且被配置成在图像平面中形成：所述输入辐射束的所述第一部分的第一图像和第二图像，所述第一图像和所述第二图像属于沿所述第一光路的两个不同平面。所述检测器被设置在所述图像平面中且可操作以检测所述第一图像和所述第二图像。
本发明授权用于光放大腔的测量系统在权利要求书中公布了：1.一种用于光放大腔的测量系统，所述测量系统包括： 输入光学元件，所述输入光学元件用于接收输入辐射束并且所述输入光学元件：沿第一光路引导所述输入辐射束的第一部分；以及同时沿第二光路引导所述输入辐射束的第二部分进入所述光放大腔； 成像系统，所述成像系统被布置在所述第一光路上，并且被配置成在图像平面中形成：所述输入辐射束的所述第一部分的第一图像和第二图像，所述第一图像和所述第二图像属于沿所述第一光路的两个不同平面；和 检测器，所述检测器设置在所述图像平面中且能够操作以检测所述第一图像和第二图像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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