苏州珂玛材料科技股份有限公司施建中获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州珂玛材料科技股份有限公司申请的专利加热片、陶瓷加热盘及其制备方法和化学气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114158150B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111051735.3，技术领域涉及：H05B6/44；该发明授权加热片、陶瓷加热盘及其制备方法和化学气相沉积设备是由施建中;何琪娜;刘先兵设计研发完成，并于2021-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热片、陶瓷加热盘及其制备方法和化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种加热片、陶瓷加热盘及其制备方法和化学气相沉积设备。加热片分为内加热片和外加热片，且上下两层排布，所述陶瓷加热盘分为高温高均匀性两区，所述加热片包括内加热片和外加热片，所述内加热片和所述外加热片分别独立连接外部电源，所述内加热片包括内加热线圈，所述外加热片包括外加热线圈，通过调节所述内加热线圈和所述外加热线圈的电流比来减小所述内加热片和所述外加热片的温差，保证加热盘外圆区域不会因为散热而引起与中间部分的热量差异而造成加热盘的热量不均匀现象。
本发明授权加热片、陶瓷加热盘及其制备方法和化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种陶瓷加热盘的加热片，其特征在于，所述加热片包括内加热片和外加热片，所述内加热片和所述外加热片分别独立连接外部电源，所述内加热片包括内加热线圈，所述外加热片包括外加热线圈，通过调节所述内加热线圈和所述外加热线圈的电流比来减小所述内加热片和所述外加热片的温差； 所述内加热片，包括多层由内到外依次设置并连接的内加热线圈，其中，第一层内加热线圈的两端分别连接第一正电极和第一负电极；所述外加热片，包括第一外加热线圈和连接线圈，所述第一外加热线圈位于所述内加热片的外侧，所述第一外加热线圈与连接线圈连接，所述连接线圈的两端分别连接第二正电极和第二负电极；位于上层的所述第一外加热线圈和位于下层的所述连接线圈通过连接电极连接； 上下分别设置外加热线圈，第二外加热线圈设置于所述第一外加热线圈的下方，所述第二外加热线圈位于所述连接线圈的外侧，所述第二外加热线圈和所述连接线圈一同位于下层，所述连接线圈连接所述第二外加热线圈，所述第二外加热线圈连接所述第一外加热线圈。
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