科磊股份有限公司J·希拉吉获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114514596B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080070435.7，技术领域涉及：H01J61/30；该发明授权用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法是由J·希拉吉;I·贝泽尔设计研发完成，并于2020-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种照明系统，其包含经配置以收容气体的气体收容容器。所述照明系统还包含经配置以产生一或多个泵浦光束的一或多个泵浦源。所述照明系统包含臭氧产生单元，其包含一或多个照明源。所述一或多个照明源经配置以产生足以将收容在所述气体收容容器内的双原子氧O22的一部分转换为三原子氧O33的能量的照明光束。一或多个能量源经配置以经由通过所述三原子氧的一部分吸收所述一或多个能量源的能量来点燃收容在所述气体收容容器内的所述气体内的等离子体，其中所述等离子体发射宽带辐射。
本发明授权用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种具有照明辅助等离子体点火的激光持续等离子体照明系统，其包括： 气体收容容器，其经配置以收容气体； 一或多个泵浦源，其经配置以产生用于使等离子体在所述气体收容容器内持续的一或多个泵浦光束；及 臭氧产生单元，其包含一或多个照明源，其中所述一或多个照明源经配置以产生足以将收容在所述气体收容容器内的双原子氧O2的一部分转换为三原子氧O3的能量的照明光束， 其中一或多个能量源经配置以经由通过所述三原子氧的一部分吸收所述一或多个能量源的能量来点燃收容在所述气体收容容器内的所述气体内的所述等离子体，其中所述等离子体发射宽带辐射，且 其中所述等离子体是无电极的。
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