株式会社荏原制作所铃木佑多获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利研磨装置及研磨方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114683161B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111599867.X，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权研磨装置及研磨方法是由铃木佑多;高桥太郎设计研发完成，并于2021-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨装置及研磨方法在说明书摘要公布了：本发明是研磨装置以及研磨方法，以相较过去更为改善的精度来检测摆动臂摆动时晶片与研磨垫间的摩擦力变化，以提高研磨终点检测的精度。用于在研磨垫10与和研磨垫相对配置的半导体晶片之间进行研磨的研磨装置34具有：用于保持研磨垫的研磨台30；用于保持半导体晶片的顶环31；用于保持顶环的摆动臂110；及用于摆动摆动臂的摆动轴马达。研磨装置进一步具有：在摆动臂以指定的角度范围摆动时，检测施加于摆动臂的臂转矩26a的臂转矩检测部26；及依据臂转矩检测部所检测出的臂转矩来检测表示研磨结束的研磨终点的终点检测部28。
本发明授权研磨装置及研磨方法在权利要求书中公布了：1.一种研磨装置，用于在研磨垫与研磨对象物之间进行研磨，该研磨对象物与所述研磨垫相对配置，该研磨装置的特征在于，具有： 研磨台，该研磨台用于保持所述研磨垫； 保持部，该保持部用于保持所述研磨对象物； 摆动臂，该摆动臂用于保持所述保持部； 臂驱动部，该臂驱动部用于摆动所述摆动臂； 臂转矩检测部，在所述摆动臂摆动的最大角度范围中的不含摆动端的角度范围，该臂转矩检测部直接或间接检测施加于所述摆动臂的臂转矩；及 终点检测部，该终点检测部依据所述臂转矩检测部所检测出的所述臂转矩，检测表示所述研磨结束的研磨终点。
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