佳能特机株式会社松本行生获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利成膜装置、电子器件的制造方法及成膜源的维护方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114959597B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210131453.2，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权成膜装置、电子器件的制造方法及成膜源的维护方法是由松本行生;内田敏治设计研发完成，并于2022-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置、电子器件的制造方法及成膜源的维护方法在说明书摘要公布了：本发明提供能够实现节省空间并且提高成膜源的维护性的成膜装置、电子器件的制造方法及成膜源的维护方法。该成膜装置的特征在于，在腔室10的顶板上，在从基板保持部件11的配置位置离开的位置上，设置有开闭部10a，该开闭部10a能够将构成成膜源100的至少一个构件从腔室10的内部搬出到外部及从腔室10的外部搬入到内部，并且移动部件构成为，能够使成膜源100在与成膜动作时被基板保持部件11保持的基板P相向的位置和由开闭部10a打开的开口部10b的正下方的位置之间往复移动。
本发明授权成膜装置、电子器件的制造方法及成膜源的维护方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其特征在于， 该成膜装置具备： 腔室； 成膜源，配置在所述腔室的内部，用于在基板上形成薄膜；以及 移动部件，使所述成膜源相对于所述基板相对地移动， 所述腔室的顶板在所述成膜源的移动范围的一部分的铅垂方向上方的位置具有开闭部，该开闭部用于将构成所述成膜源的至少一个构件从所述腔室的内部搬出到外部以及从所述腔室的外部搬入到内部， 所述成膜源具有： 圆筒状的靶，构成为通过溅射放出用于在基板上形成薄膜的粒子，且在溅射时旋转； 一对支承构件，固定于构成为能够通过所述移动部件而移动的大气箱的上表面，支承所述靶的两端；以及 驱动源，使所述靶旋转， 所述大气箱具有：底板部；侧壁部，设置为围绕所述底板部；以及顶板部，设置为相对于所述侧壁部装卸自如， 所述靶、所述一对支承构件、固定于所述顶板部的所述驱动源和所述顶板部在一体的状态下从所述开闭部被搬出到所述腔室的外部以及被搬入到所述腔室的内部。
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