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长春国科精密光学技术有限公司葛川获国家专利权

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龙图腾网获悉长春国科精密光学技术有限公司申请的专利一种直线光栅位移传感器精度标定装置、方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115235348B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210901288.4,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种直线光栅位移传感器精度标定装置、方法及系统是由葛川;郭抗;倪明阳;隋永新;杨怀江设计研发完成,并于2022-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种直线光栅位移传感器精度标定装置、方法及系统在说明书摘要公布了:本申请公开了一种直线光栅位移传感器精度标定装置、方法、系统、控制装置及计算机存储介质,包括:底座10上安装有标定运动结构9,标定运动结构9的上表面用于安装待标定的直线光栅位移传感器8的动态结构,姿态调节器3通过相应的支架与底座10固定,并安装在标定运动结构9的上方,姿态调节器3的下表面用于安装直线光栅位移传感器8的静态结构,激光干涉仪21安装在静态结构的一侧并对准静态结构。本申请使用姿态调节器3对直线光栅位移传感器8的静态结构进行位姿调整,从而确定出直线光栅位移传感器8的最佳使用姿态,最终在该姿态下进行标定,得到精准的标定结果。

本发明授权一种直线光栅位移传感器精度标定装置、方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种直线光栅位移传感器精度标定装置,其特征在于,包括:姿态调节器3、激光干涉仪21、标定运动结构9和底座10; 所述底座10上安装有所述标定运动结构9,所述标定运动结构9的上表面用于安装待标定的直线光栅位移传感器8的动态结构,所述姿态调节器3通过相应的支架与所述底座10固定,并安装在所述标定运动结构9的上方,所述姿态调节器3的下表面用于安装所述直线光栅位移传感器8的静态结构,所述激光干涉仪21安装在所述静态结构的一侧并对准所述静态结构; 所述标定运动结构9,用于带动所述直线光栅位移传感器8的动态结构位移; 所述姿态调节器3,用于调整所述直线光栅位移传感器8的静态结构的姿态; 所述激光干涉仪21,用于检测所述直线光栅位移传感器8的动态结构的位移量; 其中,所述姿态调节器3,包括安装底座31、姿态调节驱动器1和电容传感器2; 所述安装底座31上表面,安装有所述姿态调节驱动器1和所述电容传感器2,所述安装底座31下表面用于安装所述直线光栅位移传感器8的静态结构; 所述姿态调节驱动器1,用于调节所述安装底座31在空间中的姿态; 所述电容传感器2,用于输出所述安装底座31的姿态信号至信号接收器; 其中,所述姿态调节器3,包括前后调节驱动器、左右调节驱动器、高度调节驱动器、前后检测电容传感器、左右检测电容传感器和高度检测电容传感器; 所述前后调节驱动器,用于调节所述安装底座31的前后姿态; 所述左右调节驱动器,用于调节所述安装底座31的左右姿态; 所述高度调节驱动器,用于调节所述安装底座31的高度姿态; 所述前后检测电容传感器,用于检测所述安装底座31的前后姿态信号; 所述左右检测电容传感器,用于检测所述安装底座31的左右姿态信号; 所述高度检测电容传感器,用于检测所述安装底座31的高度姿态信号。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长春国科精密光学技术有限公司,其通讯地址为:130000 吉林省长春市经开区东南湖大路3608号国科精密;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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