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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种匹配器电机控制方法和一种半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115459646B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211063724.1，技术领域涉及：H02P8/14；该发明授权一种匹配器电机控制方法和一种半导体工艺设备是由李颖;成晓阳;吴韦设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种匹配器电机控制方法和一种半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种匹配器电机控制方法和一种半导体工艺设备，所述方法包括：获取射频匹配器电机在预设加速度下，由起始旋转速度加速至峰值旋转速度之间的加速步数；依据所述加速步数控制所述射频匹配器电机运行至目标速度，其中所述目标速度小于或等于所述峰值旋转速度；在所述射频匹配器电机达到所述目标速度后，获取输入阻抗；当所述输入阻抗与预设特征阻抗不一致时，采用所述目标速度更新所述起始旋转速度，并继续执行所述获取所述射频匹配器电机在预设加速度下，由起始旋转速度加速至峰值旋转速度之间的加速步数的步骤，直至所述输入阻抗与所述预设特征阻抗一致。通过本发明实施例可以缩短射频匹配器的阻抗匹配时间，降低反射功率。

本发明授权一种匹配器电机控制方法和一种半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种匹配器电机控制方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括射频匹配器、计时器，所述射频匹配器包括射频匹配器电机，所述计时器对应有时钟频率值，所述方法包括： 获取所述射频匹配器电机在预设加速度下，由起始旋转速度加速至峰值旋转速度之间的加速步数； 依据所述加速步数控制所述射频匹配器电机运行至目标速度，其中，所述目标速度小于或等于所述峰值旋转速度； 在所述射频匹配器电机达到所述目标速度后，获取输入阻抗； 当所述输入阻抗与预设特征阻抗不一致时，采用所述目标速度更新所述起始旋转速度，并继续执行所述获取所述射频匹配器电机在预设加速度下，由起始旋转速度加速至峰值旋转速度之间的加速步数的步骤，直至所述输入阻抗与所述预设特征阻抗一致； 其中，所述获取所述射频匹配器电机在预设加速度下，由起始旋转速度加速至峰值旋转速度之间的加速步数，包括： 计算所述射频匹配器电机在预设加速度下，由所述起始旋转速度加速至所述峰值旋转速度之间的加速步数，所述加速步数根据所述时钟频率值计算得到； 获取所述加速步数。

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