廊坊沃尔德超硬刀具有限公司李卫获国家专利权
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龙图腾网获悉廊坊沃尔德超硬刀具有限公司申请的专利一种CVD反应装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116162916B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211675964.7,技术领域涉及:C23C16/27;该发明授权一种CVD反应装置是由李卫设计研发完成,并于2022-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD反应装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种CVD反应装置,属于化学气相沉积的技术领域,其包括架体和设置在所述架体上的若干热管,所述热管沿所述架体的长度方向设置,所述架体两端均设置为电极,所述热管两端均连通有进气管,且所述热管下侧开设有多个通孔,且所述热管下方设有用于沉积金刚石层的基体,且所述基体远离所述热管的一侧设有用于控制所述基体温度的控制机构和用于控制所述基体与所述热管之间距离的升降组件。本申请具有提高混合气体的解离率,进而提高沉积效率的效果。
本发明授权一种CVD反应装置在权利要求书中公布了:1.一种CVD反应装置,其特征在于:包括架体1和设置在所述架体1上的若干热管13,所述热管13沿所述架体1的长度方向设置,所述架体1两端均设置为电极,所述热管13两端均连通有进气管14,且所述热管13下侧开设有多个通孔131,且所述热管13下方设有用于沉积金刚石层的基体,且所述基体远离所述热管13的一侧设有用于控制所述基体温度的控制机构4和用于控制所述基体与所述热管13之间距离的升降组件3; 各个所述热管13两端的相邻两个所述通孔131之间的距离大于所述热管13中部的相邻两个所述通孔131之间的距离。
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