上海微电子装备(集团)股份有限公司刘涛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利虚拟硅片生成系统及生成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116187225B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111437420.2，技术领域涉及：G06F30/31；该发明授权虚拟硅片生成系统及生成方法是由刘涛;邓帅飞;杨志超;周许超;张记晨;潘成安;鲁阳;易兵;王敬贤设计研发完成，并于2021-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本虚拟硅片生成系统及生成方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种虚拟硅片生成系统及生成方法。其中，所述虚拟硅片生成系统包括：数据收集单元和硅片生成单元；所述数据收集单元用于从检测数据库中收集硅片的特征信息和工艺信息；所述硅片生成单元用于根据所述特征信息和所述工艺信息生成虚拟硅片。因而，本发明不仅利用检测数据库中的硅片的特征信息，还利用了硅片的制备过程中的工艺信息，使得生成的虚拟硅片更加贴近真实硅片，能够充分反应真实硅片上的信息以及工艺过程的真实情况，提高了虚拟硅片的使用价值。
本发明授权虚拟硅片生成系统及生成方法在权利要求书中公布了：1.一种虚拟硅片生成系统，其特征在于，包括：数据收集单元和硅片生成单元；其中， 所述数据收集单元用于从检测数据库中收集硅片的特征信息和工艺信息；所述硅片生成单元用于根据所述特征信息和所述工艺信息生成虚拟硅片；且所述特征信息包括所述硅片上周期结构信息；所述工艺信息包括工艺参数阈值；以及， 所述虚拟硅片生成系统还包括图像信息单元；所述图像信息单元包括差异图数据集；所述差异图数据集包含所述周期结构信息与所述工艺参数阈值模拟生成的图片，且经模拟生成的所述图片按周期结构在所述硅片上的位置信息排列。
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