南京原磊纳米材料有限公司周明获国家专利权
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龙图腾网获悉南京原磊纳米材料有限公司申请的专利一种真空角阀及晶圆镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223953284U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520212555.6，技术领域涉及：F16K1/52；该实用新型一种真空角阀及晶圆镀膜设备是由周明;王延临;郑锦设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空角阀及晶圆镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种真空角阀及晶圆镀膜设备，包括阀体、第一泄压单元和第二泄压单元；阀体形成有相互连通的第一通道和第二通道；第一通道具有靠近第二通道的进出口；第一泄压单元设置于进出口；第一泄压单元被配置为打开进出口，或者，封闭进出口；第一泄压单元设置有泄压通道，第一通道、泄压通道和第二通道能够依次连通；泄压通道的内径小于进出口的内径；第二泄压单元嵌设于第一泄压单元内，且第二泄压单元被配置为打开或者封闭泄压通道；当第一泄压单元封闭进出口时，第二泄压单元被配置为打开泄压通道，以依次连通第一通道、泄压通道和第二通道；或者，封闭泄压通道以与第一泄压单元配合封闭进出口。
本实用新型一种真空角阀及晶圆镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种真空角阀，其特征在于，包括阀体、第一泄压单元和第二泄压单元； 所述阀体形成有相互连通的第一通道和第二通道；所述第一通道具有靠近所述第二通道的进出口； 所述第一泄压单元设置于所述第一通道的进出口；所述第一泄压单元被配置为打开所述进出口，或者，封闭所述进出口；所述第一泄压单元设置有泄压通道，所述第一通道、所述泄压通道和所述第二通道能够依次连通；所述泄压通道的内径小于所述进出口的内径； 所述第二泄压单元嵌设于所述第一泄压单元内，且所述第二泄压单元被配置为打开或者封闭所述泄压通道； 当所述第一泄压单元封闭所述进出口时，所述第二泄压单元被配置为打开所述泄压通道，以依次连通所述第一通道、所述泄压通道和所述第二通道；或者，封闭所述泄压通道以与所述第一泄压单元配合封闭所述进出口。
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