台湾积体电路制造股份有限公司;台积电(中国)有限公司陈正龙获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司;台积电(中国)有限公司申请的专利半导体器件及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113178426B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010392643.0,技术领域涉及:H10D1/68;该发明授权半导体器件及其制造方法是由陈正龙设计研发完成,并于2020-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体器件及其制造方法在说明书摘要公布了:本公开涉及半导体器件及其制造方法。一种半导体器件包括电容器。电容器包括设置在第一金属层中的第一电极和第二电极。第一电极具有第一端和第二端,并且第一电极具有从第一端至第二端向外延伸的螺旋图案。第一电极和第二电极之间具有基本上相等的间隔。
本发明授权半导体器件及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件,包括: 第一电容器,包括: 第一电极,所述第一电极设置在第一金属层中并具有第一端和第二端,其中,所述第一电极具有从所述第一端至所述第二端向外延伸的第一螺旋图案; 第二电极,所述第二电极设置在所述第一金属层中并具有第三端、第四端、以及从所述第三端至所述第四端向外延伸的第二螺旋图案,其中,所述第一电极和所述第二电极之间具有基本上相等的间隔;以及 公共电极,所述公共电极设置在所述第一金属层中并具有第五端、第六端、以及从所述第五端至所述第六端向外延伸的第三螺旋图案,其中,所述公共电极的第五端位于所述第一电极的第一端和所述第二电极的第三端之间, 其中,所述第一电极、所述公共电极和所述第二电极依次排列形成三重螺旋图案, 其中,所述半导体器件,还包括: 第二电容器,包括: 第三电极,所述第三电极设置在第二金属层中,其中,所述第三电极与所述第一电极重叠; 第四电极,所述第四电极设置在所述第二金属层中,其中,所述第四电极与所述第二电极重叠;以及 第二公共电极,所述第二公共电极设置在所述第二金属层中,其中,所述第二公共电极与所述公共电极重叠, 其中,所述第三电极、所述第二公共电极和所述第四电极依次排列形成三重螺旋图案。
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