佳能株式会社本间将人获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利曝光装置和制造物品的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113867103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110730772.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光装置和制造物品的方法是由本间将人设计研发完成，并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置和制造物品的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了曝光装置和制造物品的方法。本发明提供了对基板进行曝光的曝光装置，包括：光学系统，所述光学系统被配置为在第一方向上发出用于对基板进行曝光的光；第一供给器，所述第一供给器被配置为将气体供给到布置有所述光学系统的腔室中；以及第二供给器，所述第二供给器被配置为向来自所述光学系统的光通过的光路空间供给气体，其中所述第二供给器包括气体吹送器和引导构件，所述气体吹送器包括吹送口，气体在第二方向上从所述吹送口吹出，所述引导构件被配置为将从所述吹送口吹出的气体引导到所述光路空间，并且所述引导构件包括板构件，所述板构件在所述吹送口的第一方向侧延伸以便沿着所述第二方向布置。
本发明授权曝光装置和制造物品的方法在权利要求书中公布了：1.一种对基板进行曝光的曝光装置，包括： 光学系统，所述光学系统被布置在腔室内并且被配置为发出用于对基板进行曝光的光； 引导构件，所述引导构件被配置为将气体引导到来自所述光学系统的光通过的光路空间，并且具有第一端部以及所述第一端部的相对侧的第二端部； 吹送口，所述吹送口被布置在所述第一端部与所述第二端部之间，并且被配置为吹出第一气体， 其中所述引导构件被配置为将包括从所述吹送口吹出的所述第一气体和从所述第二端部抽吸的第二气体的气体从所述第一端部供给到所述光路空间，并且 其中所述第二端部被布置在所述腔室内部比所述第一端部更远离所述光路空间的位置，并且所述腔室中的气体作为所述第二气体被从所述第二端部抽吸。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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