买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114578658B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210214784.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法是由刘玉倩;张炳寅;张利云;高繁星设计研发完成，并于2022-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法，该方法包括：控制快门打开；接收能量传感器采集到的能量值，基于能量值确定累计曝光剂量值；确定累计曝光剂量值是否不小于目标剂量值；若累计曝光剂量值不小于目标剂量值，则控制快门开始关闭；将快门完全关闭后的抖动延时结束时刻对应的累计曝光剂量值作为实际累计曝光剂量值；基于实际累计曝光剂量值，确定曝光剂量误差值；确定曝光剂量误差值是否满足要求；若曝光剂量误差值不满足要求，则更新等效剂量值，返回执行第一步；若曝光剂量误差值满足要求，将等效剂量值应用到曝光系统中。通过一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法，解决了曝光剂量控制精度低的问题。

本发明授权一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于曝光剂量控制系统的曝光剂量控制方法，其特征在于，所述曝光剂量控制系统包括光源、快门、衰减器、镜组单元、分光镜以及能量传感器； 其中，所述曝光剂量控制方法包括： A接收光源打开指令控制所述光源打开； B接收快门打开指令控制所述快门打开，以使所述光源发射的光线依次经过快门、衰减器、镜组单元、分光镜后照射在能量传感器上； C接收所述能量传感器采集到的能量值，基于所述能量值确定累计曝光剂量值，所述累计曝光剂量值用于表征从开始时刻算起随时间不断累计的曝光剂量，所述开始时刻是指能量传感器采集到光线的能量值的时刻； D确定所述累计曝光剂量值是否不小于目标剂量值，所述目标剂量值由等效剂量值决定，所述等效剂量值是针对快门关闭过程以及抖动延时过程产生的曝光剂量的等效值，所述快门关闭过程是快门从开始关闭至完全关闭的过程，所述抖动延时过程是快门完全关闭后因快门电机抖动而造成漏光的过程； E若所述累计曝光剂量值不小于所述目标剂量值，则控制快门开始关闭； F将快门完全关闭后的抖动延时结束时刻对应的累计曝光剂量值作为实际累计曝光剂量值，所述抖动延时结束时刻是从快门完全关闭时刻算起的经过设定时长后的时刻； G基于所述实际累计曝光剂量值，确定曝光剂量误差值； H确定所述曝光剂量误差值是否满足要求； I若所述曝光剂量误差值不满足要求，则更新所述等效剂量值，返回执行步骤B； J若所述曝光剂量误差值满足要求，将所述等效剂量值应用到曝光系统中对硅片进行曝光； 步骤I包括： 若所述曝光剂量误差值不满足要求，则确定所述实际累计曝光剂量值是否大于设定剂量值； 若所述实际累计曝光剂量值大于所述设定剂量值，则增加等效时间，利用增加后的等效时间更新等效剂量值； 若所述实际累计曝光剂量值小于所述设定剂量值，则减少等效时间，利用减少后的等效时间更新等效剂量值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。