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阿托莱特股份公司J·伯尔内获国家专利权

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龙图腾网获悉阿托莱特股份公司申请的专利阴极射线发光电子显微镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114730684B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080046100.1,技术领域涉及:H01J37/141;该发明授权阴极射线发光电子显微镜是由J·伯尔内设计研发完成,并于2020-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。

阴极射线发光电子显微镜在说明书摘要公布了:一种具有电子柱的扫描电子显微镜,该电子柱定位成将电子束引导到样品上,该电子柱具有:真空外壳;电子源;以及定位在真空外壳内的电磁物镜,该电磁物镜包括壳体,该壳体在其顶面具有入口孔径且在其底部具有出口孔径;径向定位在壳体内的电磁线圈;光物镜,其定位在壳体内并且包括具有第一轴向孔径的凹镜和具有第二轴向孔径的凸镜;电子束偏转器,其定位在壳体内并且包括第一组偏转器和定位在第一组偏转器下方的第二组偏转器,其中,第二组偏转器定位在第一轴向孔径下方,并且第一组偏转器定位在第二组偏转器上方。

本发明授权阴极射线发光电子显微镜在权利要求书中公布了:1.一种电磁物镜,包括: 壳体,在其顶部表面有入口孔径,在其底部有出口孔径; 径向定位在壳体内的电磁线圈; 光收集光学元件,其定位在壳体内并且包括具有第一轴向孔径的凹镜和具有第二轴向孔径的凸镜; 电子束偏转器,其定位在壳体内并且包括第一组偏转器和定位在第一组偏转器下方的第二组偏转器,其中,第二组偏转器定位在由假想锥限定的区域内,假想锥从第一轴向孔径延伸至电磁线圈的焦点。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人阿托莱特股份公司,其通讯地址为:瑞士洛桑;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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