佳能特机株式会社泷泽毅获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利控制装置、成膜装置、控制方法及电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115148628B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210286083.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权控制装置、成膜装置、控制方法及电子器件的制造方法是由泷泽毅;川畑奉代;河合慈设计研发完成，并于2022-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本控制装置、成膜装置、控制方法及电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及控制装置、成膜装置、控制方法及电子器件的制造方法，提供一种防止由基板的吸附不良及剥离不良导致的成膜处理的失败的技术。成膜装置的控制装置是具备静电吸盘、电压供给部件及测定部件的成膜装置的控制装置，所述静电吸盘包含多个吸附部并吸附基板，所述电压供给部件按各吸附部设置并对吸附部所具备的电极施加电压，所述测定部件按各吸附部设置并对吸附部所具备的电极与导体之间的静电电容进行测定，其特征在于，所述成膜装置的控制装置具备控制部件，所述控制部件基于测定部件的测定结果来控制由电压供给部件对多个吸附部的电极施加的电压。
本发明授权控制装置、成膜装置、控制方法及电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种控制装置，其是具备静电吸盘、电压供给部件及测定部件的成膜装置的控制装置，所述静电吸盘包含多个吸附部并吸附基板，所述电压供给部件按各所述吸附部设置并对所述吸附部所具备的电极施加电压，所述测定部件按各所述吸附部设置并对所述吸附部所具备的所述电极的静电电容进行测定，其特征在于， 所述控制装置具备控制部件，在将所述基板从所述静电吸盘剥离时，所述控制部件基于所述测定部件的测定结果来控制由所述电压供给部件施加于所述多个吸附部的所述电极的电压， 在将所述基板从所述静电吸盘剥离时，在利用所述电压供给部件停止施加规定的电压之后，在所述测定部件测定出的静电电容值比阈值大的情况下，所述控制部件对设置有该测定部件的所述吸附部再次施加电压， 在再次施加电压后停止电压的再次施加之后，在所述测定部件测定出的静电电容值比所述阈值大的情况下，所述控制部件以对所有的所述吸附部再次施加电压的方式控制所述电压供给部件。
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