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龙图腾网获悉苏州科韵激光科技有限公司申请的专利一种晶圆装载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115939020B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211667368.4，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种晶圆装载装置是由韩杰;兰珺琳;李忠乾;张洪华;陈云;罗帅;王刚设计研发完成，并于2022-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆装载装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体生产设备技术领域，公开了一种晶圆装载装置。晶圆装载装置包括承托板、顶升机构和规整机构。其中顶升机构设置在承托板上，顶升机构包括顶升驱动组件和承托块组件，顶升驱动组件能驱动承托块组件相对于承托板升降运动，承托块组件用于承托晶圆，牙叉的分叉部能环设于承托块组件的外周。规整机构设置在承托板上，规整机构包规整驱动组件、第一定位组件和第二定位组件，规整驱动组件能驱动第一定位组件和第二定位组件相向运动并夹持晶圆的圆周面，以修正晶圆在承托块组件上的位置。本发明的晶圆装载装置，能避免承托块组件与尺寸较大的牙叉的分叉部干涉，且保证晶圆在承托块组件上的位置精准度高。

本发明授权一种晶圆装载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载装置，其特征在于，包括： 承托板11； 顶升机构2，设置在所述承托板11上，所述顶升机构2包括顶升驱动组件21和承托块组件22，所述顶升驱动组件21能驱动所述承托块组件22相对于所述承托板11升降运动，所述承托块组件22用于承托晶圆，牙叉的分叉部能环设于所述承托块组件22的外周； 规整机构3，设置在所述承托板11上，所述规整机构3包规整驱动组件31、第一定位组件32和第二定位组件33，所述规整驱动组件31能驱动所述第一定位组件32和所述第二定位组件33相向运动并夹持所述晶圆的圆周面，以修正所述晶圆在所述承托块组件22上的位置； 所述承托块组件22内设置有气路，所述承托块组件22的上表面设置有吸附口2221，所述气路的两端分别与所述吸附口2221和真空单元连通，以使所述承托块组件22能吸附固定所述晶圆；所述承托块组件22包括下承托块221和上承托块222，所述下承托块221与所述顶升驱动组件21的输出端连接，所述下承托块221内设置有进气通道2211且上表面设置有环形槽2212，所述进气通道2211的两端分别与所述真空单元和所述环形槽2212连通；所述上承托块222盖设在所述下承托块221上，所述吸附口2221设置在所述上承托块222的上表面上，所述上承托块222内沿周向设置多个过气通道2222，每个所述过气通道2222的两端分别与所述环形槽2212和所述吸附口2221相连通。

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