细美事有限公司崔伦硕获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利等离子体处理装置及使用该装置的等离子体处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115995375B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210967398.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置及使用该装置的等离子体处理方法是由崔伦硕;赵顺天;李相政;曹玹玗;朴钟源设计研发完成，并于2022-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置及使用该装置的等离子体处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供等离子体处理装置。所述装置包括：腔室，具有产生等离子体的处理空间；以及等离子体产生单元，用于将处理空间内的气体激发为等离子体状态，其中，等离子体产生单元包括：第一电源，提供用于产生等离子体的电力；线圈部，与第一电源连接；第一并联电容器，连接在线圈部的第一节点与接地电源之间；以及第二并联电容器，连接在线圈部的不同于第一节点的第二节点与接地电源之间。
本发明授权等离子体处理装置及使用该装置的等离子体处理方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，包括： 腔室，具有产生等离子体的处理空间；以及 等离子体产生单元，用于将所述处理空间内的气体激发为等离子体状态， 其中，所述等离子体产生单元包括： 第一电源，提供用于产生所述等离子体的电力； 线圈部，以第一节点为基准划分为串联连接的第一部分线圈部和第二部分线圈部； 第一并联电容器，连接在所述线圈部的所述第一节点与接地电源之间；以及 第二并联电容器，连接在所述线圈部的不同于所述第一节点的第二节点与所述接地电源之间， 其中，所述串联连接的第一部分线圈部和第二部分线圈部连接在所述第一电源和所述第二节点之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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