东南大学尹奎波获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东南大学申请的专利一种透射电镜原位热学参数测试芯片及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116165227B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310194309.8，技术领域涉及：G01N23/04；该发明授权一种透射电镜原位热学参数测试芯片及其制备方法是由尹奎波;金展锐;聂萌设计研发完成，并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种透射电镜原位热学参数测试芯片及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种透射电镜原位热学参数测试芯片及其制备方法，芯片为MEMS器件，硅基底上形成左右对称的两个悬空平台；悬空平台结构包括底层电热绝缘保护层，在底层电热绝缘保护层上依次间隔设置电阻、金属电极、金属热反射镜，并且金属热反射镜位于两个悬空平台的相对内侧，电阻上覆盖有顶层电热绝缘保护层。电阻结构的上下层均设置了电热绝缘保护层，使其与外界隔绝，以降低测试时一侧的测温电阻受外界环境对电学信号的影响以及样品转移中接触或破坏的几率；同时，通过设计金属热反射镜减少热导测试时两个悬空平台互相之间的热辐射的影响。
本发明授权一种透射电镜原位热学参数测试芯片及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种透射电镜原位热学参数测试芯片，其特征在于，所述芯片为MEMS器件，包括硅基底，所述硅基底上形成左右对称的两个悬空平台；所述悬空平台结构包括底层电热绝缘保护层，在所述底层电热绝缘保护层上依次间隔设置电阻、金属电极、金属热反射镜，并且金属热反射镜位于两个悬空平台的相对内侧，所述电阻上覆盖有顶层电热绝缘保护层；所述电阻、金属电极分别通过电信号通路连接外部电极；左右两个悬空平台的金属电极用于共同加载待测样品。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东南大学，其通讯地址为：210000 江苏省南京市江宁区东南大学路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励