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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利检测单元以及包括该检测单元的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116400567B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211589410.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权检测单元以及包括该检测单元的基板处理装置是由尹铉;崔基熏;金泰熙;郑智训设计研发完成，并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本检测单元以及包括该检测单元的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种检测单元以及包括该检测单元的基板处理装置。该基板处理装置包括：支承单元，该支承单元配置为在处理空间中支承并旋转基板；液体供应单元，该液体供应单元配置为向由该支承单元支承的该基板供应液体；激光单元，该激光单元包括激光照射单元，该激光照射单元向由该支承单元支承的该基板照射激光；初始端口，该初始端口提供该激光单元等待的待机位置；以及移动单元，该移动单元用于在将激光照射至基板的工艺位置与待机位置之间移动激光单元，其中，初始端口从由激光单元照射的激光检测激光的特性。

本发明授权检测单元以及包括该检测单元的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，所述基板处理装置包括： 支承单元，所述支承单元配置为在处理空间中支承并旋转基板； 液体供应单元，所述液体供应单元配置为向由所述支承单元支承的所述基板供应液体； 激光单元，所述激光单元包括激光照射单元，所述激光照射单元向由所述支承单元支承的所述基板照射激光； 初始端口，所述初始端口提供所述激光单元等待的待机位置；以及 移动单元，所述移动单元用于在将所述激光照射至所述基板的工艺位置与所述待机位置之间移动所述激光单元， 其中，所述初始端口从由所述激光单元照射的所述激光检测所述激光的特性， 其中，所述激光所述特性包括所述激光的焦点分布和所述激光的功率， 所述初始端口包括： 壳体，所述壳体具有内部空间； 轮廓测量构件，所述轮廓测量构件安装在所述壳体中并测量所述激光的所述焦点分布； 功率测量构件，所述功率测量构件安装在所述壳体中并测量所述激光的所述功率；以及 分光构件，所述分光构件用于将从所述壳体的上部入射的所述激光分光到所述轮廓测量构件和所述功率测量构件， 抗反射地涂覆所述分光构件的面向所述功率测量构件的表面， 所述轮廓测量构件安装在所述壳体的侧壁上， 所述功率测量构件安装在所述壳体的底壁上， 所述分光构件设置在所述壳体的所述内部空间中， 所述分光构件的上表面形成为相对于地面以第一角度向上倾斜，并且所述分光构件的下表面形成为相对于所述地面以第二角度向上倾斜，以及 所述第二角度大于所述第一角度。

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