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龙图腾网获悉新毅东(上海)科技有限公司申请的专利一种半导体调平对焦工作台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116631930B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310673428.1，技术领域涉及：H10P76/00；该发明授权一种半导体调平对焦工作台是由张琪;符友银;杨涛设计研发完成，并于2023-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体调平对焦工作台在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体调平对焦工作台，包括用于盛放晶圆的工作平台，工作平台均匀安装多组调节装置，通过调节装置对盛放于工作平台的晶圆同步进行调平和对焦；工作平台远离晶圆一侧设置安装板，调节装置的固定端连接于安装板的上表面，调节装置的驱动端与工作平台相连，调节装置的固定端在与驱动端无接触的状态下驱使驱动端带动与工作平台的连接处沿垂直于水平面的方向位移。本发明用以解决现有技术中晶圆在曝光前的调平和对焦需要分为两个步骤进行，因此存在曝光前准备时间过长而影响产能的问题，其次，现有工作台所应用的调平机构以及对焦机构通常由直流电机和丝杆构成，易产生高频振动从而影响晶圆调平和对焦的精度以及稳定性的问题。

本发明授权一种半导体调平对焦工作台在权利要求书中公布了：1.一种半导体调平对焦工作台，其特征在于，包括：用于盛放晶圆的工作平台，所述工作平台均匀安装多组调节装置，通过所述调节装置对盛放于所述工作平台的晶圆同步进行调平和对焦； 所述工作平台远离晶圆一侧设置安装板，所述调节装置的固定端连接于安装板的上表面，所述调节装置的驱动端与工作平台相连，所述调节装置的固定端在与所述驱动端无接触的状态下驱使所述驱动端带动与工作平台的连接处沿垂直于水平面的方向位移； 所述调节装置设为音圈电机，所述调节装置的固定端包括音圈电机的定子，所述调节装置的驱动端为音圈电机的动子，所述动子的顶端通过连接构件与工作平台相连； 所述固定端还包括导向组件，所述导向组件和定子平行设置于动子长度方向两侧，所述动子于所述导向组件以及定子之间升降以带动所述工作平台位移； 所述定子包括背板以及所述背板长度方向两侧分别连接一个的永磁体，所述动子设置为两组，两组所述动子分别设置于两个永磁体远离背板一侧，所述连接构件的底面分别与两组动子的顶面固定，所述导向组件设置为两组并且对称设置于两组动子相互远离一侧； 所述导向组件包括导向板和不少于一个的限位件，所述限位件安装于动子远离永磁体一侧，所述导向板开设供每个限位件分别穿过的限位口，每个所述限位件随动子在所述限位口内位移； 所述限位件包括第一导向块和第二导向块，所述第一导向块安装于所述动子对称轴处，所述第二导向块设置数量为两个并对称分布与所述第一导向块两侧，所述导向板固定连接连接块，所述第一导向块与连接块之间连接弹性复位件。

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