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龙图腾网获悉埃克斯控股(北京)有限公司申请的专利一种基于安全槽驻留的清洗设备调度方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121075968B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511606207.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种基于安全槽驻留的清洗设备调度方法及装置是由朱宽;傅慧初;付锦超;刘斌;郭宇翔设计研发完成，并于2025-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于安全槽驻留的清洗设备调度方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制备技术领域，具体公开了一种基于安全槽驻留的清洗设备调度方法及装置，具体地，基于所要规划的当前新任务对应的第一动作序列S1判断是否发生过泡，且出现过泡的工艺槽为危险槽，若出现过泡且出现过泡的工艺槽是危险槽，自发生过泡的当前动作开始，逆序遍历S1以寻找符合预设驻留条件的安全槽，且当找到符合预设驻留条件的安全槽时，基于过泡时间确定相应过泡任务在该安全槽的强制驻留时间，并基于强制驻留时间更新所述第一动作序列S1中所述安全槽对应动作及其后续各动作的优先级，然后基于更新后得到的第二动作序列S2判断是否发生过泡，若是基于相同的策略逆序查找安全槽，如此重复直至规则成功为止。

本发明授权一种基于安全槽驻留的清洗设备调度方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基于安全槽驻留的清洗设备调度方法，其特征在于，包括步骤： S101，获取预先为任务列表中当前新任务所规划的配方信息，并基于所述配方信息中第一动作序列S1判断是否发生过泡，且出现过泡的工艺槽为危险槽，若未发生过泡，执行步骤S102；若出现过泡且出现过泡的工艺槽是危险槽，执行步骤S103，若发生过泡且出现过泡的工艺槽是安全槽，执行步骤S105； S102，将所述当前新任务的状态更新为规划成功，并为所述任务列表中下一个新任务规划配方信息，并重复执行步骤S101-S102，直至所述任务列表中所有新任务都成功规划为止； S103，自发生过泡的当前动作开始，逆序遍历所述第一动作序列S1以寻找符合预设驻留条件的安全槽，且当找到最近且符合所述预设驻留条件的安全槽，执行步骤S104，若未找到符合所述预设驻留条件的安全槽，执行步骤S105；其中，所述预设驻留条件包括：对应于过泡任务的所述安全槽的可用驻留时间大于或等于所述当前动作的过泡时间，且所述安全槽中物料被移动到下一个工艺槽的开始时间大于当前的重算时间T0’； S104，基于发生过泡的危险槽的过泡时间确定相应过泡任务Jobm在所述安全槽的强制驻留时间，并基于所述强制驻留时间更新所述第一动作序列S1中所述安全槽对应动作及其后续各动作的优先级，执行步骤S106； S105，获取所述当前新任务初始化设备参数和初始化动作序列S0，并基于所述过泡时间延迟所述初始化设备参数中当前新任务的初始化进入时间T3’，得到当前新任务的最早进入时间T3，并基于所述最早进入时间T3对初始化动作序列S0中的动作重排优先级，执行步骤S102； S106，基于更新后得到的第二动作序列S2判断是否发生过泡，若是，执行步骤S103，否则，判定规划成功，并将规划的最早进入时间T3作为所述当前新任务的开始时间，执行步骤S102。

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