中国航发北京航空材料研究院陆子龙获国家专利权
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龙图腾网获悉中国航发北京航空材料研究院申请的专利应用于化学气相沉积的工装结构及其原位自清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121087457B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511620911.9，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权应用于化学气相沉积的工装结构及其原位自清洁方法是由陆子龙;焦健;齐哲;王晗;杜博绅;张士明设计研发完成，并于2025-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本应用于化学气相沉积的工装结构及其原位自清洁方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种应用于化学气相沉积的工装结构及其原位自清洁方法，属于高温沉积装备技术领域，解决了现有清除工装表面有害涂层的方法效率低、易损伤工装、引入污染物、成本高的问题。所述方法包括：采用表面具有微结构的工装对基底进行固定，进行化学气相沉积，得到涂层；所述涂层的热膨胀系数αa小于所述工装结构的热膨胀系数αb；冷却，沉积在工装表面的涂层脱落。本发明结合工装和涂层热膨胀行为差异与工装表面凸起微结构，在沉积后冷却阶段，能够将工装与涂层之间的剪切热应力转变为拉伸剥离应力，并利用热应力集中效应使得沉积在工装上的涂层自发原位剥离，从根源上规避涂层累积对工装的损伤，并消除传统清理工艺的附加成本与副作用。
本发明授权应用于化学气相沉积的工装结构及其原位自清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种应用于化学气相沉积工装结构的原位自清洁方法，其特征在于，所述方法包括： 1在所述工装结构的表面进行凸起微结构设计； 2采用所述工装结构对待沉积基底工件进行固定，进行化学气相沉积，得到涂层，其中，所述涂层的热膨胀系数αa小于所述工装结构的热膨胀系数αb； 3冷却，沉积在所述工装表面的涂层发生脱落； 其中，在所述冷却过程中，所述凸起微结构将所述工装结构与所述涂层之间产生的剪切热应力转变为拉伸剥离应力，且，所述工装结构与所述涂层之间产生的剪切热应力大于所述工装结构与所述涂层之间的界面粘结强度； 所述凸起微结构包括连续排列的三角形棱柱，其中，所述三角形棱柱的侧棱平行于所述工装结构的平面，两侧棱位于所述工装结构的表面，一侧棱远离所述工装结构的表面，形成棱脊；其中，所述三角形棱柱一侧面的涂层受到由来自于另一侧面涂层与工装之间的剪切应力转变而来的拉伸剥离应力。
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