合肥晶合集成电路股份有限公司许雨芩获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种清洗头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223959831U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520340689.6，技术领域涉及：B05B1/14；该实用新型一种清洗头是由许雨芩设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗头在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种清洗头，包括连接头和导向部；连接头的内部设置有进液通道和分液腔，进液通道的一端贯穿连接头的上表面或侧面，进液通道的另一端与分液腔连通；分液腔的侧面和或下表面设置有多个出液孔；导向部的形状为圆台形，导向部的一端与分液腔的下表面连接，导向部的另一端向远离分液腔的一侧延伸；导向部的一端设置在多个出液孔围合形成的区域的内侧。药液通过进液通道、分液腔、出液孔和导向部的外表面可以呈圆形喷洒在晶边上，从而对晶边进行清洗。由于导向部的导向和疏水作用，药液只喷到需要清洗的晶边位置，不会喷到晶边内侧的位置，防止晶圆不需要清洗的位置被药液腐蚀，提高了清洗效率和产品良率。
本实用新型一种清洗头在权利要求书中公布了：1.一种清洗头，其特征在于，包括连接头和导向部；所述连接头的内部设置有进液通道和分液腔，所述进液通道的一端贯穿所述连接头的上表面或侧面，所述进液通道的另一端与所述分液腔连通；所述分液腔的侧面和或下表面设置有多个出液孔； 所述导向部的形状为圆台形，所述导向部的一端与所述分液腔的下表面连接，所述导向部的另一端向远离所述分液腔的一侧延伸；所述导向部的一端设置在多个所述出液孔围合形成的区域的内侧。
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