瑞材(厦门)科技有限公司李敏宣获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞材(厦门)科技有限公司申请的专利一种多工位的晶圆镀膜机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223959883U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520186175.X，技术领域涉及：B05B16/20；该实用新型一种多工位的晶圆镀膜机构是由李敏宣;赵腾飞;陈华鑫设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多工位的晶圆镀膜机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种多工位的晶圆镀膜机构，属于晶圆镀膜技术领域，包括输送架，输送架上设有镀膜箱，且镀膜箱上设有喷涂管，镀膜箱上设有驱动泵。在安装板上设置调节结构，利用转轴安装调温板，可以根据需要对调温板的倾斜角度进行调节，进而改变发热管下方暴露空间的大小，实现调节作用于晶圆表面镀层温度的目的，适用于不同镀膜材料的干燥工作，调温板端部设置联动板和联动轴，可以同步驱动所有的调温板进行转动，调节便捷性高，采用蜗轮、蜗杆以及微型伺服电机作为驱动部分，微型伺服电机可以驱动着蜗杆正反转，进而通过蜗轮带着调温板进行闭合，调节适配性高，蜗轮与蜗杆存在自锁效果，可以保证调节后的使用稳定性。
本实用新型一种多工位的晶圆镀膜机构在权利要求书中公布了：1.一种多工位的晶圆镀膜机构，包括输送架1，所述输送架1上设有镀膜箱2，且镀膜箱2上设有喷涂管3，所述镀膜箱2上设有驱动泵4，所述输送架1上安装有干燥箱5，其特征在于：所述干燥箱5的内部设有安装板6，且安装板6的下表面设有连接座7，所述连接座7上固定有发热管8，所述安装板6的下表面设有调节结构9。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人瑞材(厦门)科技有限公司，其通讯地址为：361000 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产业区翔明路32号第一层103；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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