苏州德龙激光股份有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利隐切吸附载台装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223960730U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520629677.5,技术领域涉及:B23K26/70;该实用新型隐切吸附载台装置是由赵裕兴;王乾宝设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本隐切吸附载台装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种隐切吸附载台装置,包括底座、力矩电机和吸附载台组件,安装在底座上的力矩电机驱动上方的吸附载台组件转动;吸附载台组件包括吸附台,在吸附台的外侧边缘处沿着圆周方向均匀的安装有若干个用于吸附钢环的真空吸盘;在吸附台的顶部沿着圆周方向设置有若干个用于吸附晶圆的吸附凸台。本实用新型提供一种真空吸附载台,对正面键合光窗进行避让能够实现激光切割。
本实用新型隐切吸附载台装置在权利要求书中公布了:1.隐切吸附载台装置,包括底座1、力矩电机5和吸附载台组件6,安装在所述底座1上的力矩电机5驱动上方的吸附载台组件6转动; 其特征在于:所述吸附载台组件6包括吸附台601,在所述吸附台601的外侧边缘处沿着圆周方向均匀的安装有若干个用于吸附钢环的真空吸盘603; 在所述吸附台601的顶部沿着圆周方向设置有若干个用于吸附晶圆的吸附凸台607,若干个所述吸附凸台607内侧的吸附台601形成上避空凹槽606,在所述吸附凸台607下方的吸附台601的底部开设有下吸附凹槽612,在所述下吸附凹槽612底部的吸附台601上安装有封板605; 在所述吸附凸台607上开设有若干个真空孔611,若干个所述真空孔611均与下方的下吸附凹槽612相连通,位于所述吸附台601底部中间的进气口与下吸附凹槽612相连通,且在所述下吸附凹槽612内沿着圆周方向均匀的安装有若干个内支撑块613。
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