东莞市元素真空科技有限公司高佳获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市元素真空科技有限公司申请的专利一种应用于溅射镀膜设备中的气缸轴防护组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223963561U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520579382.1,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种应用于溅射镀膜设备中的气缸轴防护组件是由高佳;周征华;宋加杰;赵金雷;王随随设计研发完成,并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于溅射镀膜设备中的气缸轴防护组件在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种应用于溅射镀膜设备中的气缸轴防护组件,其包括基座、侧向安装于基座一侧的驱动缸以及设于驱动缸活塞轴上并位于基座另一侧的修正组件,驱动缸活塞轴穿过基座,并通过定位组合件与基座和修正组件相连,驱动缸活塞轴上套有可拉伸的防护套,且防护套的两端与定位组合件连通。通过在驱动缸活塞轴上增加可拉伸的防护套,且防护套与设置在基座和修正组件上的修正组件连通,使驱动缸活塞轴在回退时,防护套受挤压叠合,前推时防护套展开,让溅射镀膜过程中所产生的杂质不会堆积在驱动缸活塞轴上,进而避免了这些杂质导致的轴套干涩,延长了驱动缸活塞轴的维修保养时,减少了使用成本并提升了加工效率。
本实用新型一种应用于溅射镀膜设备中的气缸轴防护组件在权利要求书中公布了:1.一种应用于溅射镀膜设备中的气缸轴防护组件,包括基座10、侧向安装于基座一侧的驱动缸20以及设于驱动缸活塞轴21上并位于基座10另一侧的修正组件30,其特征在于:所述驱动缸活塞轴21穿过基座10,并通过定位组合件40与基座10和修正组件30相连,所述驱动缸活塞轴21上套有可拉伸的防护套50,且防护套50的两端与所述定位组合件40连通。
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