包头稀土研究院程岩获国家专利权
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龙图腾网获悉包头稀土研究院申请的专利磁控溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223963562U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520521035.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射装置是由程岩;崔红兵;张茂彩;艾静雯;田世艳;辛博;娄树普;李志强设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射装置。该磁控溅射装置包括溅射真空室、冷却装置和抽真空装置；所述溅射真空室内设置有靶座、靶材和样品架；所述靶材固定在所述靶座的一个表面上；所述靶材包括主靶材单元和N个辅靶材单元；所述N为大于等于1的整数；所述样品架设置为固定待镀膜样品；所述冷却装置与所述靶座相连，所述冷却装置设置为冷却所述靶座；所述抽真空装置与所述溅射真空室相连通，所述抽真空装置设置为将所述溅射真空室内的气体抽出。该磁控溅射装置的靶材成分易于调整。
本实用新型磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射装置，其特征在于，包括溅射真空室、冷却装置和抽真空装置； 所述溅射真空室内设置有靶座、靶材和样品架； 所述靶材固定在所述靶座的一个表面上；所述靶材包括主靶材单元和N个辅靶材单元；所述N为大于等于1的整数； 所述样品架设置为固定待镀膜样品； 所述冷却装置与所述靶座相连，所述冷却装置设置为冷却所述靶座； 所述抽真空装置与所述溅射真空室相连通，所述抽真空装置设置为将所述溅射真空室内的气体抽出。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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