厦门韫茂科技有限公司雷植深获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门韫茂科技有限公司申请的专利一种PEALD腔体结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223963566U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520388516.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种PEALD腔体结构是由雷植深;赵茂生;雷志佳;曾慧娇设计研发完成，并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PEALD腔体结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种PEALD腔体结构，涉及镀膜设备技术领域。该结构包括外腔体、内腔体、升降系统、加热载台、抽气系统及压力控制器。内腔体设置于外腔体内部，底部形成适配加热载台的开口，升降系统控制加热载台与内腔体的连接与分离。内腔体内设置分隔体，形成锥形反应空间，改善等离子体分布。环形抽气孔均匀排出多余气体，提高膜厚均匀性。外腔体设置压力控制器，维持内外腔之间固定压差，防止工艺气体扩散。该设计实现了反应区域独立性，提高了前驱体利用率，简化了维护流程，增强了腔体洁净度。
本实用新型一种PEALD腔体结构在权利要求书中公布了：1.一种PEALD腔体结构，包括等离子体源、抽气系统，其特征在于，还包括：外腔体、内腔体、升降系统以及加热载台；其中， 所述等离子体源连接至所述内腔体以向内腔体供给等离子体； 所述内腔体设置于所述外腔体内部，其适于与所述加热载台配合形成反应内腔； 所述抽气系统包括第一负压装置与第二负压装置，所述第一负压装置连接至所述内腔体，所述第二负压装置连接至所述外腔体； 所述加热载台设置与所述外腔体内，且所述升降系统连接所述加热载台以控制所述加热载台升降。
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