北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司韩绪爽获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利分气结构及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223963567U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520527960.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型分气结构及半导体设备是由韩绪爽;赵雅婧;马楠;郝葆华设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本分气结构及半导体设备在说明书摘要公布了：一种分气结构及半导体设备，分气结构用于与半导体设备的腔室连通，包括堆叠的上分气模块和下分气模块；上分气模块包括位于上分气模块中的不同位置处且相互隔离的多个第一输送管路；下分气模块包括贯穿下分气模块的主输送管路，主输送管路的输入端与各第一输送管路均连通，主输送管路的输出端用于与半导体设备的腔室连通。由于多个第一输送管路相互隔离，在通过各第一输送管路向半导体设备的腔室提供不同类型的气体过程中，降低了不同类型的气体在第一输送管路中接触并反应的概率，从而降低了分气结构的内壁因化学反应而受到损伤的概率，也减少了因化学反应而残留在晶圆表面的颗粒数量，进而提高了半导体工艺处理的质量以及分气结构的使用寿命。
本实用新型分气结构及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种分气结构，其特征在于，用于与半导体设备的腔室连通，包括：堆叠设置的上分气模块和下分气模块； 所述上分气模块包括：多个第一输送管路，分别位于所述上分气模块中的不同位置处且相互隔离； 所述下分气模块包括：主输送管路，贯穿所述下分气模块，所述主输送管路的输入端与各个所述第一输送管路的输出端均连通，所述主输送管路的输出端用于与所述半导体设备的腔室连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：102600 北京市大兴区北京经济技术开发区核心区34M3、42M2、34M4地块；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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