楚赟精工科技(上海)有限公司张业民获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利基座和气相反应装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223963570U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520628135.6，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型基座和气相反应装置是由张业民;童中华;林桂荣设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座和气相反应装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种基座及气相反应装置，承载区包括凹穴，且其凹穴的边缘区开设有弧形槽，弧形槽的顶面开口包括相对的第一端和第二端，第一端和第二端与弧形槽所在的承载区的中心的连线之间的第一锐角a为85°～95°，以减少承载区侧壁对基片传热造成的基片中部和边部之间温度不均匀性。弧形槽中设置有至少一个边部支撑件，边部支撑件的顶表面与承载区的中部的顶表面齐平，使得当基片放置在承载区上时，基片的部分边部悬空于弧形槽的上方，该悬空的部分边缘同时被边部支撑件支撑。通过上述弧形槽结合边部支撑件的设置协同调整边缘区与基片边部的接触面积，进而优化基片边部的传热均匀性。
本实用新型基座和气相反应装置在权利要求书中公布了：1.一种基座，包括用于承载基片的承载区，其特征在于， 所述承载区包括凹穴，所述凹穴的底面包括中部以及环绕所述中部的边缘区； 弧形槽，开设于各所述边缘区，所述弧形槽的宽度不超过所述承载区顶面边缘所围区域径向长度的10%； 支撑件，包括分布于所述弧形槽中的至少一个边部支撑件，所述边部支撑件的顶表面与所述承载区的中部的顶表面齐平。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励