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龙图腾网获悉昇澜半导体(常州)有限公司申请的专利PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223966447U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520103436.7，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备是由马有草;赵玉垚设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备，包括底座，所述底座上设有电动滑轨，所述电动滑轨上安装有电动旋转台，所述电动旋转台上安装有真空吸盘，所述底座顶部固定连接有扫描机构，所述扫描机构一侧设有对准机构，所述对准机构包括机械手，所述机械手上安装有固定架，所述固定架上转动连接有升降螺杆，属于晶圆检测技术领域。该PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备，通过机械手将对准座送至真空吸盘顶部，升降电机带动多个对准杆处于晶圆外侧，然后驱动电机带动对准杆沿着限位槽进行移动，使得多个对准杆同时向中央靠拢，对晶圆进行快速对准，使得晶圆能够对准真空吸盘的中心，缩短对准时间，从而能够提高检测效率。

本实用新型PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备在权利要求书中公布了：1.PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备，包括底座1，其特征在于：所述底座1上设有电动滑轨3，所述电动滑轨3上安装有电动旋转台5，所述电动旋转台5上安装有真空吸盘6，所述底座1顶部固定连接有扫描机构4，所述扫描机构4一侧设有对准机构2； 所述对准机构2包括机械手201，所述机械手201上安装有固定架202，所述固定架202上转动连接有升降螺杆203，所述升降螺杆203顶端固定连接有升降电机204，所述升降螺杆203底端固定连接有限位块208，所述升降螺杆203上螺纹连接有升降板205，所述升降板205底端固定连接有两个导向套206，两个所述导向套206内部滑动连接有导向杆207，所述导向套206底端固定连接有对准座209，所述对准座209内部开设有多个限位槽210，每个所述限位槽210内部均滑动连接有对准杆211，所述对准杆211一侧设有复位弹簧212，所述对准座209内部转动连接有从动齿环213，所述从动齿环213一侧设有主动齿轮214，所述主动齿轮214顶端固定连接有驱动电机215，所述从动齿环213内壁固定连接有多个推动块216。

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