矽品科技(苏州)有限公司李本成获国家专利权
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龙图腾网获悉矽品科技(苏州)有限公司申请的专利具有防尘功能的探针装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223966664U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423260323.2，技术领域涉及：G01R31/26；该实用新型具有防尘功能的探针装置是由李本成设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有防尘功能的探针装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种具有防尘功能的探针装置，于晶圆输送室沿传送路径传送样品晶圆，通过在传送路径的下方设置粘性垫，利用其粘性吸附落尘，特别是在晶圆传送过程中掉落的杂质颗粒，定期更换粘性垫，由此减少进入检测室内部的杂质颗粒，从而有效降低产品质量风险；此外，通过维护窗口的外缘与盖体之间从原有的螺纹连接改装成卡合方式，避免了频繁的螺丝拆装，大大节省了时间，从而提高了生产效率，而且通过使盖体沿导轨内平移，可选择维护窗口的打开程度，减少了设备的操作难度，降低了设备的故障率。
本实用新型具有防尘功能的探针装置在权利要求书中公布了：1.一种具有防尘功能的探针装置，其特征在于，包括： 晶圆输送室，包括装载部和传送机构，所述装载部设置于所述晶圆输送室的开口处，用于存放多个样品晶圆，于所述晶圆输送室设置粘性垫，所述粘性垫设置于第一传送路径的下方；所述传送机构配置以将样品晶圆从所述晶圆输送室传送进入检测室； 检测室，包括定位机构、成像检查模块和探针卡，所述定位机构包括夹持部，用于固持所述样品晶圆，所述定位机构设置以使所述样品晶圆在固持状态下在三维轴向上相对于所述探针卡移动；所述成像检查模块配置用于提取所述样品晶圆及其电性连接端的图像；所述探针卡包括探针座和探针，用以检测所述样品晶圆的电性连接端的电性状况。
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