三星显示有限公司三宫晓史获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利照射光学系统和包括照射光学系统的曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223966812U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520203049.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型照射光学系统和包括照射光学系统的曝光设备是由三宫晓史;朴喆镐;蔡永洙设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本照射光学系统和包括照射光学系统的曝光设备在说明书摘要公布了：本申请提供照射光学系统和包括照射光学系统的曝光设备。照射光学系统包括：镜部，对光进行会聚；光源部，设置在镜部的第一焦点处并发射光；第一光圈，设置在镜部的与第一焦点不同的第二焦点处，吸收在第二焦点的平面处会聚的光的一部分，并透射第一光；透镜部，与镜部间隔开，其中第一光圈插入在镜部与透镜部之间；第二光圈，设置在第一光圈与透镜部之间，吸收第一光的一部分，并透射第二光；以及冷却构件，补偿第二光圈的温度。
本实用新型照射光学系统和包括照射光学系统的曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种照射光学系统，包括： 镜部，对光进行会聚； 光源部，设置在所述镜部的第一焦点处并发射所述光； 第一光圈，设置在所述镜部的与所述第一焦点不同的第二焦点处，阻挡在所述第二焦点的平面处会聚的所述光的一部分，并透射第一光； 透镜部，与所述镜部间隔开，其中所述第一光圈插入在所述镜部与所述透镜部之间； 第二光圈，设置在所述第一光圈与所述透镜部之间，阻挡所述第一光的一部分，并透射第二光；以及 冷却构件，补偿所述第二光圈的温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星显示有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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