南京尹特利微电子科技有限公司蒋晖晖获国家专利权
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龙图腾网获悉南京尹特利微电子科技有限公司申请的专利一种扫描电镜中的加热装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223967182U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520179532.X,技术领域涉及:H01J37/20;该实用新型一种扫描电镜中的加热装置是由蒋晖晖设计研发完成,并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扫描电镜中的加热装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种扫描电镜中的加热装置,涉及扫描电镜中的加热技术领域,包括底座,所述底座内部开设有加热槽,底座内部设置有加热丝,底座内部设置有电动推杆,电动推杆输出端设置有支撑板,支撑板上端设置有限位块,限位块上端设置有放置板,底座内部设置有安装框,底座侧壁设置有伺服电机,伺服电机输出端固定连接有螺纹杆,螺纹杆侧壁螺纹连接有滑块,滑块侧壁固定连接有限位框,本实用新型中,通过电动推杆带动支撑板上表面的工件样品运动至加热槽中部,然后利用加热丝进行加热,使得工件样品四周均匀受热,加热效率高,其次加热装置和扫描电镜体分区域设置,避免扫描电镜体处于强度很大的扫描电镜体中,维护扫描电镜体的正常工作。
本实用新型一种扫描电镜中的加热装置在权利要求书中公布了:1.一种扫描电镜中的加热装置,包括底座1,其特征在于:所述底座1内部开设有加热槽101,底座1内部设置有加热丝11,加热丝11位于加热槽101侧壁,底座1内部设置有电动推杆12,电动推杆12位于加热槽101内底壁,电动推杆12输出端固定连接有支撑板13,支撑板13远离电动推杆12的一端设置有限位块14,限位块14远离支撑板13的一端固定连接有放置板15,底座1内部设置有安装框2,安装框2内侧壁开设有安装槽201,底座1侧壁设置有伺服电机21,伺服电机21输出端固定连接有螺纹杆22,螺纹杆22位于安装槽201内,螺纹杆22侧壁螺纹连接有滑块23,滑块23侧壁固定连接有限位框24,底座1内部设置有扫描电镜体3。
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