无锡华瑛微电子技术有限公司王吉获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡华瑛微电子技术有限公司申请的专利一种半导体处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223968173U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422937457.7,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种半导体处理装置是由王吉;温子瑛设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体处理装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种半导体处理装置,其包括底板、气囊、下固定板、下腔体、上固定板、上腔体、外壁、导向柱、顶板和行程控制装置,所述上腔体位置固定,所述行程控制装置能够调节所述下腔体和所述上腔体之间的距离并保持所述下腔体的平衡。本实用新型采用至少3个半球形凸起形成支点,用以保持下腔体顶部的水平状态,防止下腔体倾斜。
本实用新型一种半导体处理装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体处理装置,其特征在于,包括底板、气囊、下固定板、下腔体、上固定板、上腔体、和行程控制装置, 所述上腔体位置固定,所述行程控制装置能够调节所述下腔体和所述上腔体之间的距离并保持所述下腔体的平衡, 所述上腔体固定在所述上固定板上,所述上固定板的位置固定, 所述下腔体固定在所述下固定板上,所述下腔体正对的设置在所述上腔体的下方, 所述底板设置在所述下固定板的下方, 所述气囊设置在所述下固定板和所述底板之间,所述气囊充气后将所述下固定板向上顶升至所述下腔体和所述上腔体合腔, 所述行程控制装置的第一端固定在所述上固定板上,所述行程控制装置的第二端向下伸出至所述下固定板的上方,所有所述行程控制装置的第二端能够活动的伸缩,当所述下固定板提升至接触所述行程控制装置的第二端时,所述行程控制装置通过伸缩第二端端部来调节所述下固定板和所述上固定板之间的距离。
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