深圳市盈石科技有限公司曾一铮获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市盈石科技有限公司申请的专利一种用于半导体制程的冷却设备、及冷却液获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113851400B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111156993.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种用于半导体制程的冷却设备、及冷却液是由曾一铮;刘星;米欣设计研发完成，并于2021-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体制程的冷却设备、及冷却液在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于半导体制程的冷却设备、及冷却液。所述用于半导体制程的冷却设备，包括：制冷机，用于将冷却剂进行循环冷却；换热器，所述换热器冷循环管路与所述制冷机连通，所述换热器热循环管路与所述半导体制程单元的氦气管路连通；所述冷却剂装盛内装有冷却剂，所述冷却剂按重量份数包括80~92的2‑氢‑全氟‑5,8‑二甲基‑3,6,9‑三氧杂十二烷、3~7的2‑氢‑全氟‑5,8,11‑三甲基‑3,6,9,12‑四氧杂十五烷及1~17的其他组分。本发明提供的用于半导体制程的冷却设备可以对最高制程温度为85~115℃的制程单元进行冷却，其内部的冷却剂具有较好的流动性，且GWP温室效应潜能值值较低，对环境友好。
本发明授权一种用于半导体制程的冷却设备、及冷却液在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体制程的冷却设备，其特征在于，所述设备包括： 制冷机，用于将冷却剂进行循环冷却； 换热器，所述换热器冷循环管路与所述制冷机连通，所述换热器热循环管路与半导体制程单元的氦气管路连通； 冷却剂装盛内装有冷却剂，所述冷却剂按重量份数包括80~92的2-氢-全氟-5,8-二甲基-3,6,9-三氧杂十二烷、3~7的2-氢-全氟-5,8,11-三甲基-3,6,9,12-四氧杂十五烷及1~17的其他组分。
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