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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113851407B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110669672.1，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质是由小林康信;谷和宪设计研发完成，并于2021-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质，涉及从大型基板切出的基板的对准，能够抑制由切出部位的不同导致的对测量精度的影响。所述对准装置具备：基板支承部件，其支承将大型基板分割而得到的基板；距离调整部件，其调整基板支承部件与支承掩模的掩模支承部件的重力方向上的距离；测量部件，其进行测量基板与掩模的位置偏移量的测量动作；以及位置调整部件，其进行调整基板与掩模的相对位置的位置调整动作，在位置偏移量在容许范围内的情况下，使基板与掩模相互重合，其特征在于，在基于基板的与分割前的大型基板中的部位相关的基板信息调整基板与测量部件之间的距离之后，进行所述测量动作。

本发明授权对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，所述对准装置具备： 基板支承部件，所述基板支承部件对将大型基板分割而得到的多个基板中的任一个基板的周缘部进行支承； 掩模支承部件，所述掩模支承部件支承掩模； 距离调整部件，所述距离调整部件调整所述基板支承部件与所述掩模支承部件的重力方向上的距离； 测量部件，所述测量部件进行测量由所述基板支承部件支承的所述基板与由所述掩模支承部件支承的所述掩模的位置偏移量的测量动作； 位置调整部件，所述位置调整部件进行调整所述基板与所述掩模的相对位置的位置调整动作；以及 控制部件，所述控制部件控制所述位置调整部件及所述距离调整部件， 在所述位置偏移量在容许范围内的情况下，使所述基板与所述掩模相互重合， 其特征在于， 所述对准装置具备取得部件，所述取得部件取得由所述基板支承部件支承的基板的与分割前的所述大型基板中的部位相关的基板信息， 在基于所述基板信息并根据由基板的边的长度的不同引起的挠曲量的不同而使所述距离调整部件调整所述基板与所述测量部件之间的距离之后，所述测量部件进行所述测量动作。

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