株式会社荏原制作所三谷隆获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利基板处理装置、基板处理方法以及存储有程序的存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114102426B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110717360.3，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权基板处理装置、基板处理方法以及存储有程序的存储介质是由三谷隆;真继阿沙葵;斋藤步设计研发完成，并于2021-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、基板处理方法以及存储有程序的存储介质在说明书摘要公布了：本发明为基板处理装置、基板处理方法以及存储有程序的存储介质，课题在于提高对基板从研磨头飞出的检测精度。基板处理装置包括：研磨台350，该研磨台粘贴有用于研磨基板的研磨垫352；研磨头302，该研磨头用于保持基板并将该基板按压于研磨垫352；挡环部件，该挡环以包围研磨头302的方式配置；挡环部件加压室，该挡环部件加压室与挡环部件邻接配置；臂360，该臂用于保持研磨头302并使其回旋；以及滑出检测器910，该滑出检测器用于基于臂360的回旋转矩、或基于向挡环部件加压室供给的流体的流量检测基板从研磨头302飞出的情况。
本发明授权基板处理装置、基板处理方法以及存储有程序的存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 研磨台，该研磨台粘贴有用于研磨基板的研磨垫； 研磨头，该研磨头用于保持基板并将该基板按压于研磨垫； 挡环部件，该挡环部件以包围所述研磨头的方式配置； 挡环部件加压室，该挡环部件加压室与所述挡环部件邻接配置； 臂，该臂用于保持所述研磨头并使该研磨头回旋；以及 滑出检测器，该滑出检测器用于基于所述臂的回旋转矩来检测基板从所述研磨头飞出的情况， 所述基板处理装置还包括臂转矩检测器，该臂转矩检测器用于检测与所述臂的回旋转矩相关的物理量， 所述滑出检测器构成为，基于由所述臂转矩检测器检测出的物理量的变化来检测基板从所述研磨头飞出的情况， 所述基板处理装置还包括用于检测所述臂的回旋速度的速度检测器， 所述滑出检测器构成为，基于由所述速度检测器检测出的速度来停止对基板从所述研磨头飞出的情况的检测。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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