旭化成株式会社清水建树获国家专利权
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龙图腾网获悉旭化成株式会社申请的专利负型感光性树脂组合物、聚酰亚胺的制造方法、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207522B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080054993.4，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权负型感光性树脂组合物、聚酰亚胺的制造方法、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置是由清水建树;平田竜也;松本凉香设计研发完成，并于2020-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本负型感光性树脂组合物、聚酰亚胺的制造方法、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置在说明书摘要公布了：提供：即使焦点深度产生偏差也显示良好的分辨率、与模制树脂的粘接性良好、表现出低介电常数的负型感光性树脂组合物；使用该感光性树脂组合物的聚酰亚胺的制造方法；固化浮雕图案的制造方法；以及，具有该固化浮雕图案的半导体装置。一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包含含有通式A1所示的结构的聚酰亚胺前体、B光聚合引发剂和C溶剂。
本发明授权负型感光性树脂组合物、聚酰亚胺的制造方法、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置在权利要求书中公布了：1.一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，其包含A在侧链中具有不饱和双键的聚酰亚胺前体、和B具有肟结构的光聚合引发剂， 将所述A在侧链中具有不饱和双键的聚酰亚胺前体在230℃下加热固化时的IR谱的1380cm-1附近的吸收峰值1500cm-1附近的吸收峰值为0.1～0.56， 其中，所述A在侧链中具有不饱和双键的聚酰亚胺前体包含下述通式A1所示的结构， 式中，X为4价的有机基团，Y为2价的有机基团，并且R1和R2分别独立地为氢原子、下述通式R1所示的1价的有机基团或碳数1～4的饱和脂肪族基团，其中，R1和R2这两者不同时为氢原子， 通式R1中，R3、R4和R5分别独立地为氢原子或碳数1～3的有机基团，并且p为选自2～10中的整数， 在所述通式A1中，X为下述式： 或下述式： 所示的结构，并且 Y包含下述通式Y1所示的结构， 式中，Rz分别独立地表示任选包含卤原子的碳数1～10的1价的有机基团，a表示0～4的整数，A分别独立地为氧原子或硫原子，并且B为下述式中的1种： 对所述B具有肟结构的光聚合引发剂的100μM二甲基亚砜溶液照射100mJcm2时，自由基产生量为3.0～30.0μM。
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