株式会社斯库林集团堀越章获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114256060B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110980176.8，技术领域涉及：H10P70/00；该发明授权衬底处理方法是由堀越章;上野美佳;竹市弥生;柳田隆明;中西健二;高辻茂;木村贵弘设计研发完成，并于2021-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理方法。本发明的课题在于有效率地去除衬底上表面的抗蚀剂。本发明的衬底处理方法具备如下工序：对衬底的上表面供给处理液；使形成在衬底上表面的至少一部分上的处理液的液膜厚度为第1厚度，并且在大气压下对液膜进行等离子体处理；及使形成在衬底上表面的至少一部分上的处理液的液膜厚度为第2厚度，并且在大气压下对液膜进行等离子体处理；且第1厚度小于第2厚度。
本发明授权衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理方法，用于从衬底的上表面去除抗蚀剂，且具备如下工序： 对所述衬底的所述上表面供给处理液； 使形成在所述衬底的所述上表面的至少一部分上的所述处理液的液膜厚度为第1厚度，并且在大气压下对所述液膜进行等离子体处理；以及 使形成在所述衬底的所述上表面的至少一部分上的所述处理液的液膜厚度为第2厚度，并且在大气压下对所述液膜进行等离子体处理；且 所述第1厚度小于所述第2厚度， 所述第1厚度为0.1mm以上且小于0.25mm， 所述第2厚度为0.35mm以上且2mm以下。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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